Por que o SiC Coating recebe tanta atenção? - Vetek Semicondutor

Nos últimos anos, com o desenvolvimento contínuo da indústria eletrônica,o semicondutor de terceira geraçãoos materiais tornaram-se uma nova força motriz para o desenvolvimento da indústria de semicondutores. Como um representante típico dos materiais semicondutores de terceira geração, o SiC tem sido amplamente utilizado na área de fabricação de semicondutores, especialmente emcampo térmicoMateriais, devido às suas excelentes propriedades físicas e químicas.

Então, o que exatamente é o revestimento de SiC? E o que éRevestimento CVD SiC?

O SIC é um composto ligado covalentemente com alta dureza, excelente condutividade térmica, baixo coeficiente de expansão térmica e alta resistência à corrosão. Sua condutividade térmica pode atingir 120-170 W/M · K, mostrando excelente condutividade térmica na dissipação de calor do componente eletrônico. Além disso, o coeficiente de expansão térmica do carboneto de silício é de apenas 4,0 × 10-6/k (na faixa de 300-800 ℃), o que permite manter a estabilidade dimensional em ambientes de alta temperatura, reduzindo bastante a deformação ou falha causada por térmico térmico estresse. O revestimento de carboneto de silício refere -se a um revestimento feito de carboneto de silício preparado na superfície das peças por deposição de vapor físico ou químico, pulverização, etc.  

Deposição química de vapor (CVD)Atualmente, é a principal tecnologia para preparar o revestimento SiC em superfícies de substrato. O principal processo é que os reagentes da fase gasosa passam por uma série de reações físicas e químicas na superfície do substrato e, finalmente, o revestimento CVD SiC é depositado na superfície do substrato.

Dados Sem do Revestimento CVD SiC

Como o revestimento de carboneto de silício é tão poderoso, no qual os vínculos da fabricação de semicondutores tem desempenhado um papel enorme? A resposta são os acessórios de produção de epitaxia.

O revestimento SIC tem a principal vantagem de corresponder perfeitamente ao processo de crescimento epitaxial em termos de propriedades do material. A seguir estão as funções e razões importantes do revestimento SIC emSusceptor epitaxial de revestimento SIC:

1. Alta condutividade térmica e resistência a altas temperaturas

A temperatura do ambiente de crescimento epitaxial pode atingir acima de 1000 ℃. O revestimento SiC possui condutividade térmica extremamente alta, que pode efetivamente dissipar o calor e garantir a uniformidade da temperatura do crescimento epitaxial.

2. Estabilidade química

O revestimento de SiC possui excelente inércia química e pode resistir à corrosão por gases e produtos químicos corrosivos, garantindo que não reaja negativamente com os reagentes durante o crescimento epitaxial e mantenha a integridade e a limpeza da superfície do material.

3. Constante de rede correspondente

No crescimento epitaxial, o revestimento de SiC pode ser bem combinado com uma variedade de materiais epitaxiais devido à sua estrutura cristalina, o que pode reduzir significativamente a incompatibilidade da rede, reduzindo assim os defeitos do cristal e melhorando a qualidade e o desempenho da camada epitaxial.

4. Baixo coeficiente de expansão térmica

O revestimento de SiC tem um baixo coeficiente de expansão térmica e é relativamente próximo ao dos materiais epitaxiais comuns. Isso significa que em altas temperaturas não haverá tensões severas entre a base e o revestimento de SiC devido à diferença nos coeficientes de expansão térmica, evitando problemas como descascamento do material, trincas ou deformações.

5. Alta dureza e resistência ao desgaste

O revestimento SiC possui dureza extremamente alta, portanto, cobri -lo na superfície da base epitaxial pode melhorar significativamente sua resistência ao desgaste e prolongar sua vida útil, garantindo que a geometria e a natidão da superfície da base não sejam danificadas durante o processo epitaxial.

Seção transversal e imagem de superfície do revestimento SiC

Além de ser um acessório para produção epitaxial,O revestimento de SiC também apresenta vantagens significativas nessas áreas:

Portadores de wafer semicondutores：Durante o processamento de semicondutores, o manuseio e o processamento das bolachas requerem limpeza e precisão extremamente alta. O revestimento SiC é frequentemente usado em portadores de bolacha, suportes e bandejas.

Transportador de wafer

Anel de pré-aquecimento：O anel de pré -aquecimento está localizado no anel externo da bandeja do substrato epitaxial Si e é usado para calibração e aquecimento. É colocado na câmara de reação e não entra em contato diretamente com a bolacha.

  Anel de pré-aquecimento

A parte superior em forma de meia-lua é portadora dos demais acessórios da câmara de reação doDispositivo de epitaxia SiC, que é controlado e instalado em temperatura na câmara de reação sem contato direto com a wafer. A parte inferior da meia-lua é conectada a um tubo de quartzo que introduz gás para acionar a rotação base. É controlado por temperatura, instalado na câmara de reação e não entra em contato direto com a bolacha.

Parte superior em meia-lua

Além disso, há cadinho derretido para evaporação na indústria de semicondutores, portão de tubo eletrônico de alta potência, pincel que entra em contato com o regulador de tensão, monocromador de grafite para raios-X e nêutrons, várias formas de substratos de grafite e revestimento do tubo de absorção atômica, etc., o revestimento SiC está desempenhando um papel cada vez mais importante.

Por que escolherSemicondutor VeTek?

Na vetek semicondutores, nossos processos de fabricação combinam engenharia de precisão com materiais avançados para produzir produtos de revestimento SiC com desempenho e durabilidade superiores, comoSuporte de bolacha revestida com SIC, receptor Epi de revestimento SiC,Girotor EPI LED UV, Revestimento cerâmico de carboneto de silícioeSiC Coating Ald Susceptor. Somos capazes de atender às necessidades específicas da indústria de semicondutores, bem como de outras indústrias, fornecendo aos clientes revestimento SiC personalizado de alta qualidade.

Se você tiver alguma dúvida ou precisar de detalhes adicionais, não hesite em entrar em contato conosco.

Mob/whatsapp: +86-180 6922 0752

E-mail: anny@veteksemi.com