VeTek Semiconductor fornece grafite especial como grafite siliconizada, carbono pirolítico, grafite poroso, revestimento de carbono vítreo, folha de grafite de alta pureza e grafite isostática de alta pureza são vários tipos de materiais de grafite especiais que compartilham características e aplicações comuns. Aqui está uma breve introdução aos seus recursos e aplicações:
● Grafite Siliconizada: A grafite siliconizada é um material de grafite especial formado pela combinação de grafite com compostos de silício. Apresenta excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão e propriedades mecânicas. A grafite siliconizada é comumente usada em fornos de alta temperatura, equipamentos resistentes à corrosão e fabricação de semicondutores.
● Carbono pirolítico: O carbono pirolítico é um material de carbono obtido pela pirólise em alta temperatura de substâncias orgânicas, como carvão e coque de petróleo. Possui alta pureza, densidade, resistência e baixa condutividade elétrica. O carbono pirolítico encontra amplas aplicações como materiais de alta temperatura e componentes estruturais em semicondutores, equipamentos químicos, aeroespacial e outros campos.
● Grafite Porosa: A grafite porosa é um material de grafite especial com estruturas micro e mesoporosas. Possui grande área superficial específica e porosidade, oferecendo excelentes propriedades de adsorção e condutividade térmica. A grafite porosa é comumente usada na separação de gases, crescimento de cristais de SiC e outras aplicações.
● Revestimento de carbono vítreo: O revestimento de carbono vítreo refere-se à técnica de aplicação de material de carbono vítreo como revestimento de superfície. Ele exibe excelente resistência à corrosão, resistência ao desgaste e condutividade elétrica. Os revestimentos de carbono vítreo são frequentemente utilizados em revestimentos resistentes à corrosão, materiais de revestimento para pistolas E-Beam e outros campos de semicondutores.
● Grafite isostática de alta pureza: A grafite isostática de alta pureza é um material de grafite especial de alta pureza preparado através de um processo de prensagem isostática de alta temperatura. Possui microestrutura uniforme, alta densidade e baixo teor de oxigênio. A grafite isostática de alta pureza é amplamente empregada em usinagem de precisão, materiais de dissipação de calor, fabricação de semicondutores, energia fotovoltaica, aeroespacial e outras indústrias.
O papel de grafite de alta pureza é um material especializado utilizado na indústria de semicondutores. Com sua excepcional condutividade térmica e elétrica, desempenha um papel vital em aplicações como dissipadores de calor, materiais de interface térmica e isolamento elétrico. A natureza leve e flexível do papel de grafite de alta pureza o torna ideal para aprimorar o gerenciamento térmico e otimizar o desempenho de dispositivos semicondutores. Sua alta pureza (impureza abaixo de 5 ppm) garante uma operação confiável e eficiente, tornando-o um componente valioso na fabricação e montagem de semicondutores.
Esses materiais especiais de grafite oferecem propriedades únicas e vantagens de aplicação em seus respectivos campos. Eles desempenham um papel crítico em ambientes de alta temperatura, resistência à corrosão, eletrônica, energia, engenharia química, aeroespacial e indústrias de semicondutores, fornecendo suporte essencial para avanços e inovações nesses setores.
Principais recursos
● Opções de pureza ultra-alta com níveis de impureza abaixo de 5 ppm para processos críticos de semicondutores.
● Excelente estabilidade em altas temperaturas e resistência a choques térmicos, adequada para crescimento de cristais PVT SiC e fornos a vácuo.
● Diversas formas de materiais: grafite isostática, grafite porosa, grafite siliconizada, revestimento PyC, revestimento de carbono vítreo e folhas flexíveis de grafite.
● Resistência superior à corrosão, resistência ao desgaste e porosidade controlada para gerenciamento de gases e aplicações em campos térmicos.
● Capacidade interna de usinagem e revestimento (SiC / TaC / PyC) permitindo soluções personalizadas completas.
● Compatível com as principais plataformas de equipamentos de semicondutores e de crescimento de cristais.
Especificações do produto
| Parâmetro de revestimento de carbono pirolítico (PyC) |
| Item |
Unidade |
valor |
| Estrutura Cristalina |
-
|
Hexagonal |
| Alinhamento |
-
|
Orientado ou não orientado ao longo da direção 001 |
| Densidade aparente |
g/cm³ |
~2,24 |
| Microestrutura |
-
|
Grafeno policristalino/multicamadas |
| Dureza |
GPa |
1.1
|
| Módulo Elástico |
GPa |
10
|
| Espessura Típica |
μm |
30-100 |
| Rugosidade Superficial |
μm |
1.5
|
| Pureza do Produto |
ppm |
≤5ppm |
Aplicativos
Para atender às diversas necessidades de processos de semicondutores e de alta temperatura, a VeTek oferece produtos específicos de Grafite Especial. A tabela a seguir os classifica pelas principais áreas de aplicação, listando materiais/componentes típicos e processos aplicáveis:
| Campo de Aplicação |
Materiais/Produtos Típicos |
Descrição do aplicativo |
| Crescimento de cristal SiC (PVT) |
Grafite porosa, Anel de grafite revestido com PyC, cadinho de grafite isostático, anel guia
|
Usado em campos térmicos de crescimento de cristal PVT SiC; fornece transporte controlado de vapor, alta pureza e estabilidade térmica até >2200°C, reduzindo a contaminação por partículas. |
| Epitaxia semicondutora / MOCVD |
aquecedores, Peças revestidas com PyC/carbono vítreo
|
Componentes de campo térmico de alta pureza para sistemas de epitaxia Si/SiC/GaN e MOCVD; excelente uniformidade de temperatura e inércia química. |
| Fornos e vácuo de alta temperatura |
Aquecedores de grafite, Cadinho de grafite de três pétalas
|
Materiais resistentes à corrosão e termicamente estáveis para fornos a vácuo, aquecedores de zona quente e equipamentos de processamento de alta temperatura. |
| Gestão Térmica |
Feltro de grafite de alta pureza, Papel grafite
|
Folhas flexíveis de alta condutividade térmica/elétrica para dissipadores de calor, materiais de interface térmica e isolamento elétrico em dispositivos semicondutores (impureza <5 ppm). |
| Proteção contra corrosão/desgaste |
Revestimento de carbono vítreo, grafite siliconizado |
Revestimentos de superfície e materiais a granel que oferecem excelente resistência à corrosão, resistência ao desgaste e condutividade elétrica para pistolas de feixe E e ambientes agressivos. |
| Separação e Adsorção de Gás |
Grafite porosa
|
Estrutura micro/mesoporosa com grande área superficial específica para aplicações de separação de gases, filtração e atmosfera controlada. |
Para soluções mais detalhadas de correspondência de produtos e processos, consulte as páginas de subcategorias relacionadas:Grafite Porosa, Grafite Isotrópica, Revestimento pirolítico de carbonoetc.
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