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Cadinhos de grafite de três peças
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Cadinhos de grafite de três peças

Para aplicações exigentes de crescimento de cristais semicondutores, o cadinho de grafite de três peças VETEK oferece a estabilidade, pureza e uniformidade térmica que o processo exige. Feito de grafite isostática de alta qualidade – com revestimentos opcionais de SiC, TaC ou PyC – seu design dividido não é apenas por conveniência. Reduz ativamente o estresse térmico, torna a manutenção mais rápida e continua funcionando ciclo após ciclo.

Principais recursos
· Grafite isostática de alta pureza com teor de cinzas ≤5 ppm após purificação.

· O design modular de três peças minimiza o estresse térmico e prolonga a vida útil.

· Excelente condutividade térmica para distribuição estável de temperatura.

· Excelente resistência ao choque térmico sob aquecimento e resfriamento repetidos.

· Compatível com revestimentos CVD SiC, TaC e PyC opcionais.

· A usinagem CNC de precisão garante tolerâncias dimensionais restritas.

· Tamanhos e estruturas personalizadas disponíveis de acordo com desenhos do cliente.


Especificações

Propriedades físicas da grafite isostática
Propriedade
Unidade
Valor típico
Densidade aparente
g/cm³
1.83
Dureza
HD
58
Resistividade Elétrica
μΩ.m
10
Resistência Flexural
MPa
47
Resistência à Compressão
MPa
103
Resistência à tracção
MPa
31
Módulo de Young
GPa
11.8
Expansão Térmica (CTE)
10-6K-1
4.6
Condutividade Térmica
W·m-1·K-1
130
Tamanho Médio de Grão
μm
8-10
Porosidade
%
10
Conteúdo de cinzas
ppm
≤5 (depois de purificado)

Aplicativos
· Crescimento de cristal PVT SiC

· Sistemas de campo térmico semicondutores

· Fornos de crescimento de cristais

· Fornos a vácuo de alta temperatura

· Crescimento de cristais semicondutores compostos

· Equipamentos de P&D de semicondutores


Por que trabalhar com a VETEK?

· Produção interna completa, desde a purificação de grafite até o revestimento.

· Usinagem CNC avançada e controle de qualidade de nível semicondutor.

· Tecnologias opcionais de revestimento SiC, TaC e PyC.

· Fabricação personalizada baseada em desenhos ou modelos de equipamentos.

· Fornecimento global estável e suporte técnico confiável.


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