Epitaxia de silício

Epitaxia de silício, EPI, epitaxia, epitaxial refere -se ao crescimento de uma camada de cristal com a mesma direção cristalina e diferente espessura do cristal em um único substrato de silício cristalino. A tecnologia de crescimento epitaxial é necessária para a fabricação de componentes discretos de semicondutores e circuitos integrados, porque as impurezas contidas nos semicondutores incluem o tipo n e o tipo P. Através de uma combinação de tipos diferentes, os dispositivos semicondutores exibem uma variedade de funções.

O método de crescimento da epitaxia de silício pode ser dividido em epitaxia da fase gasosa, epitaxia da fase líquida (LPE), epitaxia de fase sólida, método de crescimento de deposição de vapor químico é amplamente utilizado no mundo para atender à integridade da rede.

O equipamento epitaxial típico de silício é representado pelo LPE da Italian Company, que possui panóticos de panqueca, tipo de barril, por pnótico, semicondutor hy pnotic, transportador de wafer e assim por diante. O diagrama esquemático da câmara de reação epitaxial em forma de barril é a seguinte. O vetek semicondutor pode fornecer o peletor epitaxial em forma de barril. A qualidade do PELECTOR revestido com SiC é muito maduro. Qualidade equivalente a SGL; Ao mesmo tempo, o vetek semicondutor também pode fornecer o bico de quartzo da cavidade da reação epitaxial de silício, o defletor de quartzo, a jarra de sino e outros produtos completos.

Susceptador epitaxial vertical da epitaxia de silício:

Os principais produtos Susceptores epitaxiais verticais do semicondutor vetek

Susceptador de barril de grafite revestido com SIC para EPI Susceptador de barril revestido com sic Susceptador de barril revestido com CVD SIC LPE se o conjunto de apoiadores do EPI

Susceptador epitaxial horizonal da epitaxia de silício:

Principal Principal de Produtos de Susceptores Epitaxiais do Vetek Semicondutores

Bandeja epitaxial de silício monocristalino de revestimento SiC Suporte revestido com SIC para LPE PE2061S Suporte rotativo de grafite