Alta pureza SiC cantilever paddle

Paddle cantilever de alta pureza é um componente essencial usado no equipamento de processamento de semicondutores. O produto é feito de material de carboneto de silício de alta pureza (SIC).  Os clientes podem escolher livremente o material SiC sinterizado ou o material SiC recristalizado. Com a ajuda de suas excelentes características de alta pureza, alta estabilidade térmica e resistência à corrosão, ela é amplamente utilizada em processos como transferência de wafer, suporte e processamento de alta temperatura, fornecendo garantia confiável para garantir a precisão do processo e a qualidade do produto.

A Paddle SiC Cantilever de alta pureza desempenha as seguintes funções específicas no processo de processamento de semicondutores:

Transferência de wafer: A remoção de cantilever SiC de alta pureza é geralmente usada como um dispositivo de transferência de wafer em fornos de difusão ou oxidação de alta temperatura. Sua alta dureza o torna resistente ao desgaste e não é fácil de se deformar durante o uso a longo prazo, e pode garantir que a bolacha permaneça posicionada com precisão durante o processo de transferência. Combinado com sua alta temperatura e resistência à corrosão, ele pode transferir com segurança as bolachas para dentro e fora do tubo do forno em ambientes de alta temperatura sem causar contaminação ou dano às bolachas.

Suporte de wafer: O material SiC possui um baixo coeficiente de expansão térmica, o que significa que seu tamanho muda menos quando a temperatura muda, o que ajuda a manter o controle preciso no processo. Na deposição química de vapor (DCV) ou nos processos de deposição de vapor físico (PVD), o SiC Cantilever Paddle é usado para apoiar e consertar a bolacha para garantir que a bolacha permaneça estável e plana durante o processo de deposição, melhorando assim a uniformidade e a qualidade do filme.

Aplicação de processos de alta temperatura: O SiC Cantilever Paddle tem excelente estabilidade térmica e pode suportar temperaturas de até 1600 ° C. Portanto, este produto é amplamente utilizado em recozimento, oxidação, difusão e outros processos de alta temperatura.

Propriedades físicas básicas de alta pureza SiC cantilever paddle:

Alta pureza SiC cantilever paddlelojas:

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: