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Silício carboneto cantilever paddle
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Silício carboneto cantilever paddle

A pá de cantilever de carboneto de silício do Vetek Semicondutor é um componente importante no processo de fabricação de semicondutores, especialmente adequado para fornos de difusão ou fornos LPCVD em processos de alta temperatura, como difusão e RTP. Nossa paddle cantilever de carboneto de silício é cuidadosamente projetada e fabricada com excelente resistência de alta temperatura e resistência mecânica, e pode transportar com segurança e confiabilidade as bolachas para o tubo de processo sob condições de processo severas para vários processos de alta temperatura, como difusão e RTP. Estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro de longo prazo na China. Fique livre para nos perguntar.

Você pode ter certeza de comprar a remo de cantilever de carboneto de silício personalizado do vetek semiconduto. Estamos ansiosos para cooperar com você, se você quiser saber mais, pode nos consultar agora, responderemos a você a tempo!

A pá de cantilever de carboneto de silício de vetek semicondutor é feita de carboneto de silício de alta pureza e possui excelente resistência à alta temperatura e resistência mecânica. É um componente -chave indispensável no processo de fabricação de semicondutores, especialmente nos fornos de difusão ou LPCVD e processos de RTP. O design e a fabricação precisos do Silicon Carbide Cantilever Paddle garante o posicionamento e a transferência seguros de bolachas para atender aos requisitos de processo de alta precisão.

A remo de cantilever de carboneto de silício de vetek semicondutor é feita de carboneto de silício como material principal. O carboneto de silício tem as características de alta resistência e boa estabilidade térmica, para que possa suportar condições adversas no ambiente de processo de alta temperatura dos fornos semicondutores. Uma das razões para escolher o carboneto de silício é porque pode se adaptar ao ambiente de alta temperatura nos fornos semicondutores.

O design da remos do cantilever de carboneto de silício permite que ele se estenda para o tubo de processo no forno e seja firmemente fixo em uma extremidade fora do tubo. Esse design garante que a bolacha processada permaneça estável e suportada durante o processo e minimize a interferência no ambiente térmico no forno.

O vetek semicondutor está comprometido em fornecer produtos SiC Cantilever Paddle de alta qualidade. Nossos produtos são cuidadosamente projetados e fabricados para atender aos requisitos rigorosos do processo de fabricação de semicondutores. O excelente desempenho e confiabilidade da remos do cantilever de carboneto de silício o tornam um componente -chave indispensável na indústria de semicondutores. O vetek semicondutor está comprometido em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos, e esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.


Parâmetro do produto da remos do cantilever de carboneto de silício

Propriedades físicas de carboneto de silício recristalizado
Propriedade Valor típico
Temperatura de trabalho (° C) 1600 ° C (com oxigênio), 1700 ° C (redução do ambiente)
Conteúdo sic > 99,96%
Conteúdo SI gratuito <0,1%
Densidade a granel 2.60-2.70 g/cm3
Porosidade aparente <16%
Força de compressão > 600 MPa
Força de flexão fria 80-90 MPa (20 ° C)
Força de flexão quente 90-100 MPa (1400 ° C)
Expansão térmica a 1500 ° C. 4.70 10-6/° C.
Condutividade térmica a 1200 ° C. 23 w/m • k
Módulo elástico 240 GPA
Resistência ao choque térmico Extremamente bom


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Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:

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