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Barco de wafer de carboneto de silício para forno horizontal
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Barco de wafer de carboneto de silício para forno horizontal

O barco wafer SiC tem alta exigência em pureza de material. A Vetek Semiconductor fornece pureza de SiC> 99,96% de SiC recristalizado para este produto. VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional na China de barco wafer de carboneto de silício para forno horizontal, com anos de experiência em P&D e produção, pode controlar bem a qualidade e oferecer um preço competitivo. Você pode ter a certeza de comprar conosco o barco wafer de carboneto de silício para forno horizontal.

O barco wafer de carboneto de silício de alta qualidade para forno horizontal é oferecido pelo fabricante chinês VeTek Semiconductor. Compre barco wafer de carboneto de silício para forno horizontal, que é de alta qualidade diretamente da fábrica com preço baixo. O barco wafer de carboneto de silício para forno horizontal é usado em tubos de forno para carregar e transferir wafers durante tratamentos de alta temperatura. Devido às excelentes propriedades dos materiais de carboneto de silício, como resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão química e estabilidade térmica, eles são amplamente utilizados em vários processos de tratamento térmico, como difusão, oxidação, CVD e recozimento.


O barco wafer de carboneto de silício para forno horizontal é feito de material de carboneto de silício e possui as seguintes características:

1. Alta dureza e resistência ao desgaste: O carboneto de silício tem uma dureza que perde apenas para o diamante, tornando-o altamente resistente ao desgaste. Isso permite que os barcos de carboneto de silício suportem repetidos impactos mecânicos e fricção, prolongando sua vida útil.

2. Resistência a altas temperaturas: O carboneto de silício tem um ponto de fusão de 2730 ° C, tornando os barcos de carboneto de silício adequados para ambientes de alta temperatura e vários processos de fabricação de semicondutores, como oxidação e difusão em alta temperatura.

3. Baixo coeficiente de expansão térmica: O carboneto de silício possui um baixo coeficiente de expansão térmica, o que ajuda a manter a estabilidade dimensional em altas temperaturas, evitando a deformação do barco e afetando a precisão do processamento do wafer.

4. Boa estabilidade química: O carboneto de silício é resistente à maioria dos produtos químicos e não reage com soluções ácidas e alcalinas comuns, garantindo a segurança e limpeza dos wafers.

Podemos fabricar diferentes tipos de barcos wafer de carboneto de silício, como barcos wafer horizontais, barcos wafer verticais e quaisquer outros barcos personalizados.


Usamos carboneto de silício recristalizado de alta pureza com os parâmetros abaixo:

Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado
Propriedade Valor típico
Temperatura de trabalho (°C) 1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente)
Conteúdo SiC > 99,96%
Conteúdo Si grátis <0,1%
Densidade aparente 2,60-2,70g/cm3
Porosidade aparente <16%
Força de compressão > 600MPa
Resistência à flexão a frio 80-90MPa (20°C)
Resistência à flexão a quente 90-100MPa (1400°C)
Expansão térmica @1500°C 4,70x10-6/°C
Condutividade térmica @1200°C 23  W/m·K
Módulo elástico 240 GPa
Resistência ao choque térmico Extremamente bom


Aplicativos

O barco wafer de carboneto de silício para fornos horizontais encontra amplas aplicações nas indústrias de semicondutores e fotovoltaicas:

Limpeza e gravação de wafer

Difusão e oxidação

Galvanoplastia e gravação

Polimento Químico Mecânico (CMP)

Tratamento térmico

Transferência e armazenamento de wafer


Oficina de produção de semicondutores VeTek:

VeTek Semiconductor Production Shop


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