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Barco de wafer de carboneto de silício revestido com SiC
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Barco de wafer de carboneto de silício revestido com SiC

O barco wafer de carboneto de silício revestido com SiC é projetado com 165 slots para transportar wafers. VeTek Semiconductor é fabricante e fornecedor profissional na China de barco wafer de carboneto de silício revestido com SiC, com anos de experiência em P&D e produção, pode controlar bem a qualidade e oferecer um preço competitivo preço. Bem-vindo por visitar nossa fábrica e discutir mais sobre cooperação.

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor na China que produz principalmente barcos wafer de carboneto de silício revestido de SiC com muitos anos de experiência. Espero construir um relacionamento comercial com você. O barco de wafer de carboneto de silício revestido com SiC é usado em fornos de difusão de semicondutores para transportar os wafers para vários processos de alta temperatura, como implantação de íons, difusão e recozimento. Pode fornecer um ambiente estável para os wafers, garantindo uniformidade e consistência de temperatura durante o processamento.

Os barcos wafer de carboneto de silício revestidos com SiC têm maior resistência ao calor e estabilidade química, permitindo-lhes operar em temperaturas mais altas e proporcionar maior vida útil. Além disso, eles apresentam taxas de evaporação de material e taxas de adsorção de gás mais baixas, ajudando a reduzir o impacto de impurezas no processamento de wafers.

Podemos fabricar diferentes tipos de barcos wafer de carboneto de silício, como barcos wafer horizontais, barcos wafer verticais e quaisquer outros barcos personalizados.


Vantagens do nosso carboneto de silício de alta pureza:

1. Estabilidade em altas temperaturas

2. Inércia Química

3. Baixo teor de impurezas

4. Condutividade Térmica


Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado

Propriedades físicas de carboneto de silício recristalizado
Propriedade Valor típico
Temperatura de trabalho (°C) 1600 ° C (com oxigênio), 1700 ° C (redução do ambiente)
Conteúdo sic > 99,96%
Conteúdo Si grátis <0,1%
Densidade a granel 2,60-2,70g/cm3
Porosidade aparente <16%
Força de compressão > 600 MPa
Resistência à flexão a frio 80-90 MPa (20 ° C)
Força de flexão quente 90-100MPa (1400°C)
Expansão térmica a 1500 ° C. 4,70x10-6/° C.
Condutividade térmica a 1200 ° C. 23  W/m·K
Módulo elástico 240 GPA
Resistência ao choque térmico Extremamente bom


Oficina de produção de semicondutores VeTek:

VeTek Semiconductor Production Shop


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