Na fabricação de semicondutores, a tecnologia de tratamento de superfície desempenha um papel crucial no aumento da durabilidade, desempenho e confiabilidade dos componentes, modificando suas propriedades superficiais por meio de métodos avançados de revestimento e deposição.
Deposição Física de Vapor (PVD)
A deposição física de vapor PVD é um processo de revestimento baseado em vácuo que deposita filmes finos em substratos por meio da vaporização de materiais sólidos. Aumenta a dureza superficial, a resistência térmica e a condutividade, tornando-o essencial para ferramentas semicondutoras e componentes de precisão.
Tecnologia de pulverização térmica de semicondutores
Esta técnica envolve a pulverização de pós finos em alta temperatura sobre superfícies para criar revestimentos protetores densos. Aumenta significativamente a resistência ao calor, ao desgaste e à corrosão em componentes semicondutores críticos expostos a ambientes agressivos.
Nanopó de Fase MAX
Os nanopós MAX Phase são cerâmicas em camadas com propriedades metálicas, oferecendo alta resistência, condutividade e resistência ao choque térmico. Eles são ideais para revestimentos protetores e aplicações emergentes de semicondutores que exigem estabilidade em altas temperaturas.
Principais recursos
- Revestimento a vácuo PVD: filmes finos de alta precisão com excelente dureza, resistência térmica, condutividade e forte adesão.
- Pulverização térmica: revestimentos protetores densos com espessura controlável, alta resistência ao calor/desgaste/corrosão para ambientes agressivos.
- Nanopó de fase MAX: cerâmica em camadas que combina propriedades metálicas e cerâmicas — alta resistência, condutividade e resistência ao choque térmico.
- Pasta de polimento CMP: planarização químico-mecânica para planicidade de superfície em nível nano em semicondutores e processamento de precisão.
- Soluções focadas em aplicações para ferramentas semicondutoras, cadinhos de sinterização MLCC, componentes de processo e eletrônicos emergentes de alta temperatura.
Aplicativos
Para atender às diversas necessidades de fabricação de semicondutores e de precisão, a VeTek oferece soluções direcionadas de tecnologia de tratamento de superfície. A tabela a seguir os classifica pelas principais tecnologias e áreas de aplicação:
| Tecnologia / Campo |
Produtos/Soluções Típicos |
Descrição do aplicativo |
| Deposição Física de Vapor (PVD) |
Revestimentos de película fina PVD para ferramentas e componentes de precisão |
Deposição de filmes finos a vácuo para aumentar a dureza superficial, a resistência térmica e a condutividade para ferramentas semicondutoras e peças de alta precisão. |
| Pulverização Térmica de Semicondutores |
Revestimentos por pulverização térmica, revestimentos de cadinho de sinterização MLCC |
Pulverização de pós em alta temperatura para formar revestimentos protetores densos com resistência ao calor, desgaste e corrosão; amplamente utilizado para componentes semicondutores e cadinhos de sinterização de material MLCC. |
| Materiais de Fase MAX |
Nanopó de fase MAX |
Cerâmica em camadas com propriedades metálicas para revestimentos protetores e aplicações emergentes de semicondutores que exigem alta resistência, condutividade e resistência ao choque térmico. |
| CMP / Planarização |
Pasta de polimento CMP |
Materiais de polimento químico-mecânicos para planicidade e qualidade de superfície em nível nano na fabricação de semicondutores e processamento de materiais de precisão. |
| Proteção e vida útil dos componentes |
Revestimentos protetores PVD e spray térmico |
Modificação de superfície de peças críticas de equipamentos semicondutores para melhorar a durabilidade, reduzir o desgaste e prolongar a vida útil em ambientes de processo severos. |
Para mais soluções de revestimento e materiais relacionados, consulte oRevestimento de carboneto de tântaloeRevestimento de carboneto de silíciopáginas.
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