O que é carboneto de tantalum (TAC)？

Tantalum Carbide (TAC)é um composto binário de tântalo (ta) e carbono (c), com a fórmula química geralmente expressa como tacₓ (onde x varia de 0,4 a 1). É classificado como um material cerâmico refratário com excelente dureza, estabilidade de alta temperatura e condutividade metálica.

1. Estrutura do carboneto de tântalo

1.1 Composição química e estrutura cristalina

O carboneto de tântalo é um composto de cerâmica binário composto por tântalo (TA) e carbono (C).

Sua estrutura cristalina é cúbica centrada na face (FCC), que oferece excelente dureza e estabilidade.

1.2 Propriedades de ligação

A forte ligação covalente torna o carboneto tantalum extremamente difícil e resistente à deformação.

O TAC tem um coeficiente de difusão extremamente baixo e permanece estável, mesmo em altas temperaturas.

Revestimento de carboneto de tântalo (TAC) em uma seção transversal microscópica

2. Propriedades físicas do carboneto de Tantalum

2.1 ponto de fusão ultra-alto

Com um ponto de fusão de 3.880 ° C, o tântalo carboneto possui um dos pontos de fusão mais altos de qualquer material conhecido, resultando em excelente estabilidade a temperaturas extremas.

2.2 Excelente dureza

Com uma dureza MOHS de aproximadamente 9 a 10, está perto de diamante e, portanto, é amplamente utilizada em revestimentos resistentes ao desgaste.

2.3 Boa condutividade elétrica

Ao contrário da maioria dos materiais de cerâmica, o TAC possui uma alta condutividade elétrica do tipo metal, o que o torna valioso para aplicações em determinados dispositivos eletrônicos.

2.4 Resistência à corrosão e oxidação

O TAC é extremamente resistente à corrosão ácido e mantém sua integridade estrutural em ambientes severos por longos períodos de tempo.

No entanto, o TAC pode oxidar em pentóxido de tântalo (ta₂o₅) no ar acima de 1.500 ° C. 

3. Produtos comuns de carboneto de tântalo acabado

3.1 Peças revestidas com carboneto de Tantalum

● Susceptador revestido com carboneto de Tantalum CVD: Usado na epitaxia semicondutores e processamento de alta temperatura.

● Peças de grafite revestidas com carboneto de tantalum: Usado em fornos de alta temperatura e câmaras de processamento de bolas. Os exemplos incluem grafite porosa revestida com carboneto de tantalum, o que melhora significativamente a eficiência do processo e a qualidade do cristal, otimizando o fluxo de gás durante o crescimento do cristal de SiC, reduzindo o estresse térmico, melhorando a uniformidade térmica, aumentando a resistência à corrosão e inibindo a difusão da impureza.

● Placa de rotação revestida com carboneto de tantalum: A placa de rotação revestida de TAC da VetEkSemicon tem uma composição de alta pureza com menos de 5ppm de conteúdo de impureza e uma estrutura densa e uniforme, que é amplamente utilizada no sistema EPI LPE, sistema de Aixtron, sistema nuflare, sistema Tel CVD, sistema VEECO, sistema TSI. sistemas, sistemas TSI.

● Aquecedor revestido com TAC: A combinação do ponto de fusão extremamente alto do revestimento TAC (~ 3880 ° C) permite operar em temperaturas muito altas, especialmente no crescimento do processo epitaxial de nitreto de gálio (GaN) no processo de deposição de vapor químico orgânico de metal (MOCVD).

● Cadinho revestido de carboneto de tântalo: Os cadinhos revestidos com CVD TAC geralmente desempenham um papel fundamental no crescimento de cristais únicos do SiC por Pvt.

3.2 Ferramentas de corte e componentes resistentes ao desgaste

● Ferramentas de corte de carboneto revestidas com carboneto de tantalum: Melhore a vida útil da ferramenta e a precisão da usinagem.

● bicos aeroespaciais e escudos de calor: Forneça proteção em calor extremo e ambientes corrosivos.

3.3 Produtos de cerâmica de alto desempenho de carboneto de Tantalum

● Sistemas de proteção térmica de naves espaciais (TPS): para naves espaciais e veículos hipersônicos.

● Revestimentos de combustível nuclear: Proteja os pellets de combustível nuclear da corrosão.

4. Aplicações de carboneto de Tantalum na fabricação de semicondutores

4.1 Transportadores revestidos com carboneto de Tantalum (Susceptor) para processos epitaxiais

Função: Revestimentos de carboneto de tântalo aplicados a portadores de grafite melhoram a uniformidade térmica e a estabilidade química nos processos de deposição de vapor químico (DCV) e deposição de vapor químico orgânico metálico (MOCVD).

Vantagem: contaminação reduzida do processo e vida útil prolongada da transportadora.

4.2 componentes de gravação e deposição

Anéis de transferência de bolacha e escudos: o revestimento de carboneto de tantalum melhora a durabilidade das câmaras de gravação de plasma.

Vantagem: suporta ambientes agressivos de gravação e reduz a precipitação contaminante.

4.3 Elementos de aquecimento de alta temperatura

Aplicação no crescimento do SiC CVD: Os elementos de aquecimento revestidos com carboneto de tantalum melhoram a estabilidade e a eficiência do processo de fabricação de wafer de carboneto de silício (SIC).

4.4 Revestimentos de proteção para equipamentos de fabricação de semicondutores

Por que você precisa de revestimento TAC?  A fabricação de semicondutores envolve temperaturas extremas e gases corrosivos, e os revestimentos de carboneto de tântalo são eficazes para melhorar a estabilidade e a vida útil do equipamento.

5. Por que escolherSemicon?

Semicon é um fabricante líder e fornecedor deTantalum Carboking CoatingMateriais para a indústria de semicondutores na China. Nossos principais produtos incluem peças revestidas com carboneto de Tantalum CVD, peças revestidas de TAC sinterizadas para crescimento de cristal de SiC ou processos de epitaxia semicondutores. O veteksemicon está comprometido em ser inovador e líder na indústria de revestimento de carboneto de tantalum por meio de P&D contínuo e iteração de tecnologia.