Susceptor de grafite de revestimento SIC CVD

O CVD SiC Coating Graphite Susceptor foi projetado especialmente para fabricação de alta precisão na indústria de semicondutores. O substrato de grafite é revestido com uma camada SiC de alta pureza pelo processo CVD, que possui excelente resistência à alta temperatura, resistência à corrosão e resistência a oxidação e pode operar de forma estável por um longo tempo em ambientes de alta temperatura e vácuo. Este pedestal é amplamente utilizado em MOCVD, PECVD, PVD e outros equipamentos para apoiar o processamento e manuseio de bolachas e outros materiais de alta precisão.

Vantagens principais:

● Estabilidade de alta temperatura: A grafite de alta pureza tem excelente estabilidade térmica. Depois de ser revestido com o revestimento SiC, ele pode suportar ambientes extremos de temperatura mais alta e é adequado para processos de alta temperatura no processamento de semicondutores.

● CorrosResistência de íons: O revestimento CVD SiC é resistente à corrosão ácido e alcalino e pode ter uma longa vida útil no processo de CVD.

● Alto hardidão e resistência a oxidação: O revestimento CVD SiC possui excelente dureza, resistência a arranhões e resistência a oxidação a altas temperaturas para manter a estabilidade do material.

● Boa condutividade térmica: A combinação de substrato de grafite e susceptador de revestimento SiC CVD faz com que a base tenha uma excelente condutividade térmica, que pode efetivamente conduzir calor e melhorar a eficiência da produção.

Especificações do produto:

● Material: substrato de grafite + revestimento sic cvd

● Espessura do revestimento: pode ser personalizado de acordo com as necessidades do cliente

● Ambiente aplicável: alta temperatura, vácuo, ambiente de gás corrosivo

Serviço personalizado:

Fornecemos serviços altamente personalizados para atender às necessidades dos diferentes equipamentos e processos dos clientes. De acordo com o aplicativo específico do cliente, podem ser fornecidas bases de grafite com diferentes espessuras de revestimento, tratamentos de superfície e níveis de precisão.

A veteksemi sempre trabalhou na indústria de revestimento de carboneto de silício CVD e possui a produção e o nível de fabricação da base de grafite de revestimento CVD SIC. Se você precisar de mais informações do produto ou serviços personalizados, entre em contato com o vetek semicondutor, forneceremos o suporte profissional de todo o coração.

Dados SEM da estrutura cristalina do filme CVD SIC:

É semicondutorCVD SiC Coating Grafite Susceptores Lojas de produtos: