Produtos

Os cadinhos de quartzo de grau semicondutor Veteksemicon são consumíveis essenciais no processo de crescimento de cristal único Czochralski. Com extrema pureza e estabilidade térmica superior como nosso foco principal, estamos comprometidos em fornecer aos clientes produtos de alta qualidade que apresentem desempenho estável e excelente resistência à cristalização em ambientes de alta temperatura e alta pressão. Isso garante a qualidade dos bastões de cristal desde a fonte, ajudando a fabricação de wafers de silício semicondutores a obter rendimentos mais elevados e melhor custo-benefício.

O anel de foco Veteksemicon foi projetado especificamente para equipamentos exigentes de gravação de semicondutores, especialmente aplicações de gravação de SiC. Montado ao redor do mandril eletrostático (ESC), próximo ao wafer, sua função principal é otimizar a distribuição do campo eletromagnético dentro da câmara de reação, garantindo ação de plasma uniforme e focada em toda a superfície do wafer. Um anel de foco de alto desempenho melhora significativamente a uniformidade da taxa de gravação e reduz os efeitos de borda, aumentando diretamente o rendimento do produto e a eficiência da produção.

A placa transportadora de carboneto de silício Veteksemicon para gravação de LED, projetada especificamente para a fabricação de chips de LED, é um consumível central no processo de gravação. Feito de carboneto de silício de alta pureza sinterizado com precisão, oferece resistência química excepcional e estabilidade dimensional em altas temperaturas, resistindo efetivamente à corrosão de ácidos, bases e plasma fortes. Suas propriedades de baixa contaminação garantem altos rendimentos para wafers epitaxiais de LED, enquanto sua durabilidade, que excede em muito a dos materiais tradicionais, ajuda os clientes a reduzir os custos operacionais gerais, tornando-o uma escolha confiável para melhorar a eficiência e a consistência do processo de gravação.

O barco de grafite Veteksemicon para PECVD é usinado com precisão a partir de grafite de alta pureza e projetado especificamente para processos de deposição de vapor químico aprimorados por plasma. Aproveitando nosso profundo conhecimento de materiais semicondutores de campo térmico e capacidades de usinagem de precisão, oferecemos barcos de grafite com excepcional estabilidade térmica, excelente condutividade e longa vida útil. Esses barcos são projetados para garantir a deposição altamente uniforme de filmes finos em todos os wafers no exigente ambiente de processo PECVD, melhorando o rendimento e a produtividade do processo.

O anel de grafite revestido com CVD TaC da Veteksemicon foi projetado para atender às demandas extremas do processamento de wafers semicondutores. Utilizando a tecnologia de Deposição Química de Vapor (CVD), um revestimento denso e uniforme de Carboneto de Tântalo (TaC) é aplicado a substratos de grafite de alta pureza, alcançando dureza, resistência ao desgaste e inércia química excepcionais. Na fabricação de semicondutores, o anel de grafite revestido com CVD TaC é amplamente utilizado em MOCVD, gravação, difusão e câmaras de crescimento epitaxial, servindo como um componente estrutural ou de vedação chave para transportadores de wafer, susceptores e conjuntos de blindagem. Aguardamos sua consulta adicional.

O anel de grafite poroso revestido com TaC produzido pela VETEK usa um substrato de grafite poroso leve e é revestido com um revestimento de carboneto de tântalo de alta pureza, apresentando excelente resistência a altas temperaturas, gases corrosivos e erosão por plasma.