Susceptor revestido de carboneto de tântalo CVD (TaC)

Principais recursos

Aplicações

As aplicações típicas incluem:

• Crescimento epitaxial de SiC

• Epitaxia GaN MOCVD

• Crescimento epitaxial de AlN

• Fabricação de semicondutores de terceira geração

• Eletrônicos de alta potência

• Dispositivos RF

• Produção de MicroLED

• Sistemas de Pesquisa e Produção Piloto

Equipamento Compatível

As plataformas compatíveis incluem:

• Aixtron

• LPE

• Veeco

• AMEC

• NuFlare

• Reatores CVD e MOCVD personalizados

Também disponível:

• Portadores de Wafer

• Susceptores Planetários

• Susceptores de Barril

• Discos de Rotação

• Peças de meia-lua

• Placas de cobertura

• Conjuntos de grafite

• Componentes de campo térmico personalizados

Especificações Técnicas

Perguntas frequentes

1. O que é um susceptor revestido com CVD TaC?

Um componente de grafite de alta pureza protegido por um denso revestimento CVD TaC usado como transportador de wafer durante o crescimento epitaxial.

2. Por que usar TaC coating em vez de revestimento de SiC?

TaC oferece maior resistência a temperaturas, estabilidade química superior e vida útil mais longa.

3.Quais processos semicondutores usam TaC-csusceptores flutuantes?

Epitaxia SiC, GaN MOCVD, epitaxia AlN e outros processos de crescimento de cristais em alta temperatura.

4. A VETEK pode fabricar susceptores customizados?

Sim. Fornecemos projetos personalizados com base nos desenhos do cliente e nos requisitos do processo.

5. Quais marcas de reatores são suportadas?

Aixtron, LPE, Veeco, AMEC, NuFlare e outros sistemas convencionais.