O que é um mandril eletrostático (ESC)?

O chuck eletrostático (ESC), também conhecido como Chuck eletrostático (ESC, E-Chuck), é um acessório que usa o princípio da adsorção eletrostática para segurar e consertar o material adsorvido. É adequado para ambientes de vácuo e plasma. Sua principal função é adsorver ultra-Limpe folhas finas (como bolachas de silício) e mantenha o material adsorvido em uma boa planicidade, que também pode inibir a deformação do material adsorvido durante o processo e pode ajustar a temperatura do adsorvido.

Um mandril eletrostático (ESC) é um tipo especial de chuck que usa força eletrostática para segurar, pressionar e capturar objetos (peças de trabalho). Qualquer material carrega cargas positivas e negativas que são invisíveis a olho nu. Quando o material é colocado no ESC e uma tensão bipolar é aplicada aos eletrodos internos do ESC, cargas positivas e negativas se moverão dentro do material para corresponder à polaridade dos eletrodos internos do ESC. Essa atração entre ESC e o material é chamada de força eletrostática e também é o princípio fundamental por trás de nossos chucks.

Vantagens do produto

Possui uma ampla faixa de temperatura operacional (-50 a 700 ℃)

Esses copos de sucção eletrostática apresentam excelente resistência, condutividade térmica e resistência ao choque térmico e podem se adaptar a uma ampla faixa de temperatura através do controle de resistividade de volume cerâmica proprietário da NGK.

Alta resistência à corrosão

Esses copos de sucção eletrostática têm excelente resistência à corrosão a gases de halogênio.

Processamento de baixa partícula

O tratamento de baixa partícula pode ser alcançado através de tratamento de superfície e limpeza especial

Alta pureza

Também estão disponíveis produtos com pureza de 99,9% ou mais.

Função de aquecimento

A tecnologia de incorporação do elemento de aquecimento de alta precisão pode ser integrada à função do aquecedor, e a temperatura da wafer pode ser controlada em ± 1%.

Função de resfriamento

Esses copos de sucção eletrostática têm desempenho de resfriamento extremamente alto, ligando placas de cerâmica com alta condutividade térmica e placas de resfriamento.

Eletrodo de radiofrequência

Os eletrodos de metal a granel podem simultaneamente fornecer fixação estável de wafer e geração de plasma de radiofrequência.

PAameter

1.No campo da fabricação semicondutores e eletrônicos: durante os processos de fabricação semicondutores e eletrônicos, os copos de sucção eletrostática são usados ​​para consertar e lidar com bolachas de silício finas e frágeis, bolachas, etc. sua vantagem está em forte força de adsorção, sem estresse mecânico e operação simples, que efetivamente melhora a eficiência da produção e a qualidade dos produtos.

2. Indústria de vidro e cerâmica: Durante os processos de corte, trituração e manuseio de vidro e cerâmica, os copos de sucção eletrostática podem executar operações não destrutivas em materiais quebradiços, reduzindo a taxa de quebra do produto.

3. Fabricação de máquinas de precisão e componentes ópticos: Para máquinas de precisão e componentes ópticos, os copos de sucção eletrostática podem fornecer força de adsorção estável, impedindo a deformação ou arranhões durante o processamento.

4. Linhas de produção automatizadas: nas linhas de produção automatizadas, os copos de sucção eletrostática são amplamente utilizados no posicionamento, manuseio e montagem de peças, etc., aprimorando o grau de automação e eficiência da linha de produção.