Escudo e obturador de quartzo opaco de alta pureza para MOCVD

1. Especificações Técnicas

Fornecemos usinagem de alta precisão com base em seus desenhos técnicos para garantir um ajuste perfeito aos modelos específicos de seus equipamentos.

2. Campos principais de aplicação

● Proteção de Processo MOCVD: Servindo como escudos/revestimentos internos essenciais para proteger o ambiente de reação.

● Epitaxia Semicondutora: Usado como obturadores de alta precisão para estabilização de fluxo e temperatura durante o crescimento de filmes finos.

● Fabricação de semicondutores de banda larga: Compatível com ambientes de alta demanda para GaN e outros materiais avançados.

3. Por que escolher as soluções de quartzo VETEK?

● Gerenciamento Superior de Radiação Térmica: Nosso quartzo branco leitoso contém uma alta densidade de microbolhas que dispersam e bloqueiam efetivamente a radiação térmica de alta temperatura (>1000°C). Ele absorve a luz visível e infravermelha próxima dos elementos de aquecimento e a converte em radiação infravermelha distante, garantindo um aquecimento altamente uniforme.
● Controle de contaminação e fácil manutenção: Como revestimento interno sacrificial ou substituível, o Quartz Shield mantém a câmara de reação limpa, evitando a deposição de subprodutos em paredes e aquecedores caros da câmara. Essas peças podem ser regeneradas por meio de limpeza úmida (como soluções SPM+DHF) ou facilmente substituídas para garantir altos rendimentos de wafer.
● Resistência Química Extrema: O quartzo VETEK foi projetado para suportar ciclos térmicos frequentes e resistir à corrosão de metais orgânicos (como TMGa) e hidretos (como AsH₃).
● Controle de Processo de Precisão: Nossas persianas de quartzo mantêm alta estabilidade dimensional sob aquecimento infravermelho ou de filamento. Sua baixa inércia térmica permite uma resposta mecânica rápida, permitindo um controle preciso do crescimento em “nível atômico” e evitando a contaminação cruzada durante a comutação de múltiplos wafers ou multiprocessos.
● Alternativa econômica: Para projetos com requisitos orçamentários rigorosos, nossos produtos de quartzo fornecem um ponto de entrada confiável em comparação ao grafite revestido, oferecendo proteção e funcionalidade essenciais para sistemas MOCVD.