Do processo de fabricação de copos de sucção eletrostática a fabricantes de produção em massa

O princípio da Dechuck doChuck eletrostáticoé uma parte essencial de seu fluxo de trabalho que envolve a eliminação da força eletrostática e os mecanismos de liberação de wafer. A seguir, é apresentada uma análise detalhada:

O núcleo de Dechuck é eliminar ou neutralizar a força eletrostática adsorvida na bolacha, e os métodos específicos incluem:

Youdaoplaceholder0 cortou a energia

Pare de aplicar uma tensão de corrente direta ao eletrodo para eliminar gradualmente o campo elétrico.

YouDaoplaceHolder0 de tensão reversa ou injeção de gás ‌

Alguns sistemas aplicam tensão reversa ou introduzirão gases inertes (como ele, n₂) para acelerar a neutralização de carga ou a separação física.

Vamos comparar as técnicas profissionais da produção de ESC e primeiro ver se a empresa pode atingir essa escala.

Tecnologia de análise de CAE, materiais funcionais de placas, design de eletrodos, tecnologia de análise, tecnologia de canal de resfriamento, tecnologia de design de aquecedores, pessoal sênior em equipamentos de semicondutores.

As empresas japonesas e sul -coreanas devem estar totalmente com pessoal tão relevante. Caso contrário, não há necessidade de falar sobre a tecnologia da empresa.

A tecnologia Chuck, eletrodos, discos e até o princípio do fluxo de He ainda não foi esclarecido. Vamos fazer um copo de sucção eletrostática áspero. Essas empresas são transmitidas diretamente. Eles são basicamente usados ​​para controlar o dinheiro dos investidores. Este é o nível básico de saber como. Os investidores também devem desistir de uma empresa que joga com jogos de cartas e não tenha funcionários com mais de 10 anos de experiência em equipamentos de gravação, porque essa não é uma empresa que faz coisas práticas.

Quando se trata de disparar em pó no setor, todos estão no mesmo campo. Cada um tem sua própria fórmula única. Qual deles não tem força para ser equipado com superfícies cerâmicas sinterizadas? Os investidores também podem transmitir essas configurações ou empresas que não as compreenderam completamente, porque sua lógica fundamental é a mesma: elas pretendem ganhar dinheiro, não desenvolver produtos.

Em relação ao reparo, muitas empresas domésticas devem ter os recursos correspondentes para L1 a L3 até agora. Mesmo que os recursos estejam um pouco ausentes, o L1 ainda pode lidar com isso. Para L3 e acima, ele não pode ser reparado ou pode ser subcontratado. De qualquer forma, ainda existe uma maneira de repará -lo.

L1 Reparo de reparo da superfície, melhoria da rugosidade da superfície/aprimoramento da planicidade/regeneração de bump.

L2 Reparo: Reparo da camada articular, renovação da base metálica e disco de cerâmica/re-preenchimento da camada articular.

L3 Reparar a substituição do disco em cerâmica, fabricação de disco em cerâmica/recondicionamento da base de metal e disco cerâmico.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

A empresa ocupa uma posição de liderança no design e produção de chucks e equipamentos eletrostáticos domésticos com base em chucks eletrostáticos como a tecnologia principal. Atualmente, a inovação no Haituo alcançou a produção comercial de copos de sucção eletrostática e concluiu a entrega de chucks eletrostáticos semicondutores de 4 a 12 polegadas.

Pequim Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

Os copos de sucção eletrostática desenvolvidos independentemente pela empresa estão em conformidade com os padrões e processamento relevantesRequisitos da indústria de semicondutores. Os copos de sucção eletrostática de nitreto de alumínio PVD de 12 polegadas desenvolvidos no estágio inicial, em certa medida, quebraram o monopólio de longo prazo de fabricantes estrangeiros neste campo de produto. Atualmente, Huazhuo Jingke aplicou a tecnologia relacionada de copos de sucção eletrostática à fabricação de produtos e alcançou a produção em massa em pequena escala. Também pode fornecer produtos personalizados para os clientes.

Fundada em 2016, é um fornecedor líder de materiais avançados de revestimento para a indústria de semicondutores. Nosso fundador, um ex-especialista do Instituto de Materiais da Academia Chinesa de Ciências, estabeleceu a empresa com foco no desenvolvimento de soluções de ponta para a indústria.

Nossas principais ofertas de produtos incluem revestimentos de carboneto de silício CVD (SIC), revestimentos de carboneto de tântalo (TAC), SIC, pós de SiC e materiais SIC de alta pureza. Os principais produtos são o susceptador de grafite revestido com SiC, anéis de pré -aquecimento, anel de desvio revestido com TAC, peças de meia -lua etc., a pureza está abaixo de 5ppm, pode atender aos requisitos do cliente.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

Os produtos da Copa da Sucção Eletrostática desenvolvidos por TI têm indicadores de desempenho que podem atender às demandas das empresas de fabricação de chips. Eles apresentam propriedades excelentes, como temperatura controlável, força de adsorção uniforme, sem arranhões ou rugas durante a adsorção e nenhum efeito de exclusão de borda nas bolachas. Eles foram certificados pelas principais empresas domésticas da indústria de semicondutores, como Yangtze Memory Technologies, Silan Microelectronics e North China Innovation e alcançaram vendas. Ele quebrou o monopólio de fabricantes estrangeiros neste campo de produto.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

Em 2022, a empresa fez movimentos estratégicos no campo dos componentes de cerâmica de precisão, alcançando a localização de peças de precisão altamente técnica, como placas de aquecimento e tocos eletrostáticos. Os principais indicadores técnicos das placas de aquecimento de cerâmica desenvolvidos pela Zhongci Electronics atingiram o nível de produtos internacionais semelhantes e foram verificados pelos usuários. Eles foram aplicados em lotes em principais equipamentos domésticos de semicondutores. Placas de aquecimento de cerâmica foram entregues a granel e mandíbulas eletrostáticas foram enviadas para teste de amostra.