Revestimento de carboneto de silício

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade do revestimento SiC	3,21g/cm³
Revestimento SiCDureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m^-1·K^-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K^-1

ESTRUTURA DE CRISTAL DO FILME CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi revestido com carboneto de silício Transportador de wafer de revestimento SiC Cobertura de satélite revestida com SiC para MOCVD Susceptor de Epi Wafer de revestimento CVD SiC Elemento de aquecimento de revestimento CVD SiC Porta-wafers Satélite Aixtron Receptor Epi de revestimento SiC Peças de grafite meia-lua com revestimento SiC

Anéis de foco sólidos de SiC

Projetado para cercar a zona de rastreamento do wafer, o Anel de Foco Sólido SiC garante distribuição linear de plasma e perfis de gravação exatos de ponta a ponta. Esses componentes β-SiC premium são construídos pela Vetek Semiconductor (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) usando tecnologia proprietária de Deposição de Vapor Químico (CVD). Ao vaporizar as matérias-primas em uma matriz densa e sem aglutinantes, a Vetek elimina as microlacunas porosas comuns em materiais mais antigos. Em comparação com a blindagem padrão de quartzo ou silício, nossos componentes CVD SiC resistem muito melhor a gases halógenos corrosivos, protegendo o wafer em lógica sub-7nm profunda e fabricação densa de chips de memória.

Pino de elevação de wafer SiC AMAT 0200-03201 CVD

Este pino de levantamento wafer AMAT 0200-03201 da VeTek começa com grafite de alta pureza e, em seguida, adicionamos um revestimento denso de CVD SiC por cima. É feito para sistemas epitaxia de 300 mm e reatores EPI de materiais aplicados. Por que grafite e SiC? O grafite lida muito bem com o calor. A camada de SiC absorve gases corrosivos e não se desgasta rapidamente. O design de parede fina? Isso proporciona um levantamento e posicionamento mais limpos do wafer, menos partículas e maior vida útil da peça sob altas temperaturas. Também fabricamos peças semelhantes de grafite revestidas com SiC para sistemas ASM, Aixtron e LPE. Aguardamos sua consulta.

Porta-wafer para VEECO MOCVD (LED Epitaxy)

A Vetek Semiconductor fabrica transportadores de wafer para sistemas VEECO MOCVD, construídos especificamente para trabalhos de epitaxia de LED, como LEDs GaN, LEDs azul-verdes e crescimento profundo de LED UV. Esses transportadores começam com grafite de alta pureza e obtêm um revestimento denso de carboneto de silício (SiC) CVD. Essa combinação resiste bem às altas temperaturas que você vê no MOCVD – boa estabilidade térmica, resistência à corrosão e durabilidade do revestimento.

Meia-lua para Câmara de Reação LPE

O Halfmoon é um componente de grafite utilizado dentro de reatores LPE SiC, instalados principalmente ao redor da zona quente da câmara. Embora não entre em contato direto com o wafer, ele ainda desempenha um papel na estabilidade do fluxo de gás e na operação do reator durante o crescimento epitaxial. Para lidar com altas temperaturas e condições de processo reativas, o componente é geralmente protegido com revestimento CVD SiC, enquanto o revestimento TaC também está disponível para algumas aplicações. A VETEK também fornece isolamento de feltro de grafite e outras peças revestidas de grafite para sistemas de epitaxia SiC.

Anel superior de epitaxia revestido com carboneto de silício CVD de 8 polegadas (SiC)

O anel superior SiC epi de 8 polegadas é uma peça de hardware para reatores semicondutores. Funciona dentro de sistemas epitaxia Si/SiC e MOCVD/CVD. Este anel estabiliza o calor dentro da câmara. Ele também controla o fluxo de gases. O material é carboneto de silício CVD de alta pureza. Não apresenta os problemas de liberação de gases do grafite. Também reduz a contaminação por partículas durante a produção. Agradecemos suas dúvidas.

Susceptor revestido de SiC MOCVD

O susceptor revestido de SiC VETEK MOCVD é uma solução de suporte projetada com precisão, desenvolvida especificamente para crescimento epitaxial de LED e semicondutores compostos. Ele demonstra excepcional uniformidade térmica e inércia química em ambientes MOCVD complexos. Aproveitando o rigoroso processo de deposição CVD da VETEK, estamos comprometidos em melhorar a consistência do crescimento do wafer e estender a vida útil dos componentes principais, fornecendo garantia de desempenho estável e confiável para cada lote de sua produção de semicondutores.

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