Revestimento de carboneto de silício

Nosso anel de vedação revestido com SiC para epitaxia é um componente de vedação de alto desempenho baseado em compósitos de grafite ou carbono carbono revestido com carboneto de silício de alta pureza (SIC) por deposição de vapor químico (CVD), que combina a estabilidade térmica do grafite com a resistência ambiental extrema de sic, e é projetada para o semestrutor semxtutor.

O susceptador de grafite EPI de wafer único veteksemicon foi projetado para carboneto de silício de alto desempenho (sic), nitreto de gálio (GaN) e outras de terceira geração do processo epitaxial de semicondutor e é o componente de rolamento de núcleo da folha de epitaxial de alta precisão na produção de massa.

Um componente importante usado no processo de gravura de fabricação de bolacha é o anel de foco de gravação plasmático, cuja função é manter a bolacha no local para manter a densidade do plasma e impedir a contaminação dos lados da bolacha. O semicondutor de vetek fornece o ringue de foco em plasma com material corbido e silicão de silício, carbido de silício.

O vetek semicondutor é um fabricante líder e fornecedor de e-chucks revestidos com SiC na China. O e-chuck revestido do SIC é especialmente projetado para o processo de gravura de Wafer Gan, com excelente desempenho e vida útil longa, para fornecer suporte geral à sua fabricação de semicondutores. Nossa forte capacidade de processamento nos permite fornecer a você o suscetador de cerâmica SIC que você deseja. Ansioso por sua pergunta.

O veteksemicon fornece placas de gravura ICP de alto desempenho, projetadas para aplicações de gravura ICP na indústria de semicondutores. Suas propriedades de material exclusivas permitem ter um bom desempenho em ambientes de alta temperatura, alta pressão e corrosão química, garantindo excelente desempenho e estabilidade a longo prazo em vários processos de gravação.

A unidade de aquecimento de grafite semicondutores de vetek é uma solução de aquecimento industrial de alto desempenho, feita de material de grafite de alta pureza, que pode fornecer efeito de aquecimento preciso e eficiente. A unidade de aquecimento de grafite é amplamente utilizada em semicondutores, eletrônicos, cerâmica e outros campos. Dê boas -vindas à sua pergunta adicional.