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LED Epitaxy Providence
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LED Epitaxy Providence

O Susceptador de epitaxia de LED do VETEK SEMICONDUCTOR foi projetado para fabricação epitaxial de LED azul e verde. Ele combina o revestimento de carboneto de silício e a grafite SGL e possui alta dureza, baixa rugosidade, boa estabilidade térmica e excelente estabilidade química. O Susceptor de epitaxia de LED é um dos produtos mais destacados do vetek semicondutor. Estamos ansiosos para sua consulta.

No campo da fabricação de LED azul e verde, o Susceptor de epitaxia LED, como um dos melhores produtos do mercado atual, demonstra fortes recursos de fabricação do Vetek Semiconductor. O Susceptador de EPI LED está perfeitamente conectado ao equipamento AMEC MOCVD, que também prova o bom relacionamento cooperativo do vetek semicondutor com grandes empresas. Combinando o excelente desempenho derevestimento de carboneto de silícioCom as excelentes características da grafite da SGL, este suscetador fornece suporte incomparável ao crescimento epitaxial de LED, ajudando as empresas LED a se destacarem na feroz concorrência do mercado.


Vantagens do material central


(I) revestimento de carboneto de silício

O revestimento de carboneto de silício fornece ao susceptador de epitaxia de LED excelente dureza da superfície, permitindo resistir a vários desgaste físicos e arranhões durante o crescimento epitaxial de LED. A manutenção da planicidade e suavidade da superfície por um longo tempo garante que a uniformidade do crescimento da camada epitaxial não seja afetada, melhorando efetivamente o rendimento e a consistência do produto. Reduzindo assim a formação de defeitos de cristal e melhorando significativamente a eficiência luminosa e o desempenho elétrico dos LEDs azuis e verdes. Ao mesmo tempo, orevestimento de carboneto de silíciotem excelente estabilidade química. Ele não reage com os reagentes químicos no equipamento MOCVD, evitando a introdução de impurezas e corrosão do revestimento.


(Ii) grafite SGL

O vetek semicondutor usa a grafite SGL como substrato. Durante o crescimento epitaxial dos LEDs azuis e verdes, a grafite de SGL pode conduzir rapidamente o calor gerado pela reação, reduzindo efetivamente o gradiente de temperatura do suscettor e garantindo a uniformidade da temperatura de toda a área de crescimento. Isso ajuda a reduzir os defeitos cristalinos causados ​​pelo estresse térmico e melhorar a qualidade do cristal e a confiabilidade dos chips LED.


O bom desempenho de processamento da grafite SGL permite que o suscetador seja processado com precisão em várias formas e tamanhos complexos para atender às necessidades de diferentes tipos de equipamentos MOCVD e processos de fabricação de LED.


Indicadores de desempenho técnico de revestimento SiC


Indicadores de desempenho técnico de revestimento SiC
Propriedade
Valor típico
Estrutura cristalina
Policristalina da fase β da FCC, principalmente (111) orientada
Densidade de revestimento
3,21 g/cm³
Dureza do revestimento sic
2500 VICKERS DUÊNDA (500G CARRE
Tamanho de grão
2 ~ 10mm
Pureza química
99,99995%
Capacidade de calor do revestimento SiC
640 J · kg-1· K-1
Temperatura da sublimação
2700 ℃
Força de flexão
415 MPA RT 4 pontos
Módulo de Young
430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Condutividade térmica
300W · m-1· K-1
Expansão térmica (CTE)
4,5 × 10-6K-1

O vetek semicondutor possui uma equipe técnica profissional que pode fornecer aos clientes uma gama completa de serviços de consultoria técnica para o susceptador de epitaxia LED. Seja o princípio e as características do produto ou a otimização e a solução de problemas do processo em aplicações reais, nossos especialistas podem fornecer orientações detalhadas e profissionais para melhorar o nível técnico e a capacidade de produção dos clientes.


Dados SEM de filme de revestimento CVD SIC

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


É semicondutorLED EPITAXY Suscept Product Shops

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