A VeTek semiconductor é fabricante líder de materiais de revestimento de carboneto de tântalo para a indústria de semicondutores. Nossas principais ofertas de produtos incluem peças de revestimento de carboneto de tântalo CVD, peças de revestimento TaC sinterizadas para crescimento de cristal SiC ou processo de epitaxia semicondutora. Aprovado pela ISO9001, a VeTek Semiconductor tem um bom controle de qualidade. A VeTek Semiconductor se dedica a se tornar inovadora na indústria de revestimento de carboneto de tântalo por meio de pesquisa e desenvolvimento contínuos de tecnologias iterativas.
Os principais produtos sãoAnel Guia Revestido TaC, Anel guia de três pétalas revestido com CVD TaC, Meia lua revestida com carboneto de tântalo TaC, Susceptor epitaxial SiC planetário com revestimento CVD TaC, Anel de revestimento de carboneto de tântalo, Grafite porosa revestida com carboneto de tântalo, Susceptor de rotação de revestimento TaC, Anel de carboneto de tântalo, Placa de rotação de revestimento TaC, Susceptor de wafer revestido com TaC, Anel Defletor Revestido TaC, Cobertura de revestimento CVD TaC, Mandril revestido com TaCetc., a pureza está abaixo de 5 ppm, pode atender às necessidades do cliente.
O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).
O revestimento de carboneto de tântalo (TaC) tem ganhado atenção devido ao seu alto ponto de fusão de até 3880°C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência a choques térmicos, tornando-o uma alternativa atraente para compostos de processos de epitaxia de semicondutores com requisitos de temperatura mais elevados. como o sistema Aixtron MOCVD e o processo de epitaxia LPE SiC. Ele também tem uma ampla aplicação no processo de crescimento de cristal SiC do método PVT.
Principais recursos:
●Estabilidade de temperatura
●Pureza ultra-alta
●Resistência a H2, NH3, SiH4,Si
●Resistência ao estoque térmico
●Forte adesão ao grafite
●Cobertura de revestimento isolante
● Tamanho de até 750 mm de diâmetro (o único fabricante na China atinge esse tamanho)
Aplicativos:
●Porta-wafers
● Susceptor de aquecimento indutivo
● Elemento de aquecimento resistivo
●Disco satélite
●Chuveiro
●Anel guia
●Receptor LED Epi
●Bocal de injeção
●Anel de mascaramento
● Escudo térmico
Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica:
Parâmetro do revestimento de carboneto de tântalo semicondutor VeTek:
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Propriedades físicas do revestimento TaC
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Densidade
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14,3 (g/cm³)
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Emissividade específica
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0.3
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Coeficiente de expansão térmica
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6,3 10-6/K
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Dureza (HK)
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2.000 Hong Kong
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Resistência
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1x10-5Ohm*cm
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Estabilidade térmica
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<2500℃
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Mudanças no tamanho do grafite
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-10~-20um
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Espessura do revestimento
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≥20um valor típico (35um±10um)
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Dados EDX de revestimento TaC：
Dados da estrutura cristalina do revestimento TaC:
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Elemento
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Porcentagem atômica
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Pt. 1
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Pt. 2
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Pt. 3
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Média
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CK
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52.10
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57.41
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52.37
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53.96
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Eles
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47.90
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42.59
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47.63
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46.04
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