Menu Web

Pesquisa de produtos

Linguagem

Produtos

Revestimento de carboneto de tântalo

A VeTek semiconductor é fabricante líder de materiais de revestimento de carboneto de tântalo para a indústria de semicondutores. Nossas principais ofertas de produtos incluem peças de revestimento de carboneto de tântalo CVD, peças de revestimento TaC sinterizadas para crescimento de cristal SiC ou processo de epitaxia semicondutora. Aprovado pela ISO9001, a VeTek Semiconductor tem um bom controle de qualidade. A VeTek Semiconductor se dedica a se tornar inovadora na indústria de revestimento de carboneto de tântalo por meio de pesquisa e desenvolvimento contínuos de tecnologias iterativas.


Os principais produtos sãoAnel Guia Revestido TaC, Anel guia de três pétalas revestido com CVD TaC, Meia lua revestida com carboneto de tântalo TaC, Susceptor epitaxial SiC planetário com revestimento CVD TaC, Anel de revestimento de carboneto de tântalo, Grafite porosa revestida com carboneto de tântalo, Susceptor de rotação de revestimento TaC, Anel de carboneto de tântalo, Placa de rotação de revestimento TaC, Susceptor de wafer revestido com TaC, Anel Defletor Revestido TaC, Cobertura de revestimento CVD TaC, Mandril revestido com TaCetc., a pureza está abaixo de 5 ppm, pode atender às necessidades do cliente.


O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).


Excellent properties of TaC coating graphite


O revestimento de carboneto de tântalo (TaC) tem ganhado atenção devido ao seu alto ponto de fusão de até 3880°C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência a choques térmicos, tornando-o uma alternativa atraente para compostos de processos de epitaxia de semicondutores com requisitos de temperatura mais elevados. como o sistema Aixtron MOCVD e o processo de epitaxia LPE SiC. Ele também tem uma ampla aplicação no processo de crescimento de cristal SiC do método PVT.


Principais recursos:

 ●Estabilidade de temperatura

 ●Pureza ultra-alta

 ●Resistência a H2, NH3, SiH4,Si

 ●Resistência ao estoque térmico

 ●Forte adesão ao grafite

 ●Cobertura de revestimento isolante

 ● Tamanho de até 750 mm de diâmetro (o único fabricante na China atinge esse tamanho)


Aplicativos:

 ●Porta-wafers

 ● Susceptor de aquecimento indutivo

 ● Elemento de aquecimento resistivo

 ●Disco satélite

 ●Chuveiro

 ●Anel guia

 ●Receptor LED Epi

 ●Bocal de injeção

 ●Anel de mascaramento

 ● Escudo térmico


Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parâmetro do revestimento de carboneto de tântalo semicondutor VeTek:

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade 14,3 (g/cm³)
Emissividade específica 0.3
Coeficiente de expansão térmica 6,3 10-6/K
Dureza (HK) 2.000 Hong Kong
Resistência 1x10-5Ohm*cm
Estabilidade térmica <2500℃
Mudanças no tamanho do grafite -10~-20um
Espessura do revestimento ≥20um valor típico (35um±10um)


Dados EDX de revestimento TaC：

EDX data of TaC coating


Dados da estrutura cristalina do revestimento TaC:

Elemento Porcentagem atômica
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Média
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Eles 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Anel revestido de TAC para crescimento de PVT de um único cristal siC

Anel revestido de TAC para crescimento de PVT de um único cristal siC

Como um dos principais fornecedores de produtos de revestimento TAC na China, o Vetek Semiconductor é capaz de fornecer aos clientes peças personalizadas de revestimento TAC de alta qualidade. O anel revestido de TAC para o crescimento da PVT de cristal único SiC é um dos produtos mais destacados e maduros do vetek semicondutor. Ele desempenha um papel importante no crescimento da PVT do processo de cristal SiC e pode ajudar os clientes a cultivar cristais SiC de alta qualidade. Ansioso por sua pergunta.
Veja mais >> Enviar consulta >>
CVD TAC revestido de três petais anel

CVD TAC revestido de três petais anel

O vetek semicondutor experimentou muitos anos de desenvolvimento tecnológico e dominou a principal tecnologia de processo do revestimento TAC CVD. O anel guia de três petais revestido com CVD TAC é um dos produtos de revestimento CVD TAC mais maduros do vetek semicondutor e é um componente importante para a preparação de cristais SiC pelo método PVT. Com a ajuda do vetek semicondutor, acredito que sua produção de cristais SiC será mais suave e mais eficiente.
Veja mais >> Enviar consulta >>
Anel de revestimento de carboneto de tântalo

Anel de revestimento de carboneto de tântalo

VETEK O anel de revestimento de carboneto semicondalum tantalum é um componente indispensável na indústria de semicondutores, especificamente na gravação de bolachas SiC. Sua combinação de base de grafite e revestimento TAC garante desempenho superior em ambientes de alta temperatura e quimicamente agressivos. Com sua estabilidade térmica aprimorada, resistência à corrosão e resistência mecânica, o anel revestido de carboneto de tântalo ajuda os fabricantes de semicondutores a obter precisão, confiabilidade e resultados de alta qualidade em seus processos de produção.
Veja mais >> Enviar consulta >>
Anel de revestimento TAC

Anel de revestimento TAC

O anel de revestimento TAC é um componente de alto desempenho projetado para uso em processos de semicondutores, o anel de revestimento TAC semicondutor vetek tem alta estabilidade térmica, resistência à corrosão química e excelente resistência mecânica e é especificamente usada para manter e apoiar as bolachas SIC durante o processo de gravação, onde controle e durabilidade precisos são essenciais para alcançar bolachas de alta qualidade. Estamos ansiosos para sua consulta adicional.
Veja mais >> Enviar consulta >>
TAC Coating Crucible

TAC Coating Crucible

Como um fornecedor e fabricante profissional de cadinho de revestimento TAC na China, o revestimento TAC do Vetek Semiconductor desempenha um papel insubstituível no processo de crescimento de cristal único de semicondutores com sua excelente condutividade térmica, excelente estabilidade química e maior resistência à corrosão. Dê boas -vindas às suas perguntas adicionais.
Veja mais >> Enviar consulta >>
Anel guia revestido de carboneto de tântalo

Anel guia revestido de carboneto de tântalo

Como fornecedor e fabricante do anel de guia de revestimento TAC, líder da China, o anel guia revestido de carboneto de tantalum semicondutor de vetek é um componente importante usado para guiar e otimizar o fluxo de gases reativos no método PVT (transporte físico de vapor). Promove a deposição uniforme de cristais únicos da SiC na zona de crescimento, ajustando a distribuição e a velocidade do fluxo de gás. O vetek semicondutor é um fabricante líder e fornecedor de anéis de guia de revestimento TAC na China e até no mundo, e esperamos sua consulta.
Veja mais >> Enviar consulta >>
Como fabricante e fornecedor profissional Revestimento de carboneto de tântalo na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas da sua região ou deseja comprar uma mensagem avançada e durável Revestimento de carboneto de tântalo na China, você pode nos deixar uma mensagem.
Recomendações de notícias
O que é crescimento epitaxial controlado por etapas？
O que é crescimento epitaxial controlado por etapas？Veja mais >>
Aplicação de peças de grafite revestidas com TAC em fornos de cristal único
Aplicação de peças de grafite revestidas com TAC em fornos de cristal únicoVeja mais >>
Do processo de fabricação de copos de sucção eletrostática a fabricantes de produção em massa
Do processo de fabricação de copos de sucção eletrostática a fabricantes de produção em massaVeja mais >>
Quão fino o processo de Taiko pode fazer bolachas de silício?
Quão fino o processo de Taiko pode fazer bolachas de silício?Veja mais >>
O que é o revestimento TAC? - Vetek Semicondutor
O que é o revestimento TAC? - Vetek SemicondutorVeja mais >>
O que é o crescimento de cristais de carboneto de silício?
O que é o crescimento de cristais de carboneto de silício?Veja mais >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept