Grafite porosa revestida com carboneto de tântalo (TaC) para crescimento de cristal de SiC

A grafite porosa revestida com carboneto de tântalo VeTek Semiconductor foi projetada para otimizar o ambiente de crescimento do cristal SiC por meio de quatro funções técnicas principais:

● Filtragem de Componentes de Vapor: A estrutura porosa precisa atua como um filtro de alta pureza, garantindo que apenas as fases de vapor desejadas contribuam para a formação de cristais, melhorando assim a pureza geral.

● Controle de temperatura de precisão: O revestimento TaC melhora a estabilidade térmica e a condutividade, permitindo ajustes mais precisos dos gradientes de temperatura locais e melhor controle sobre as taxas de crescimento.

● Direção de fluxo guiado: O projeto estrutural facilita um fluxo guiado de substâncias, garantindo que os materiais sejam entregues exatamente onde são necessários para promover um crescimento uniforme.

● Controle Eficaz de Vazamentos: Nosso produto oferece excelentes propriedades de vedação para manter a integridade e estabilidade da atmosfera de crescimento.

Propriedades físicas do revestimento TaC

Comparação com Grafite Tradicional

Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica

Impacto da Aplicação: Minimização de Defeitos no Processo PVT

No processo PVT (Transporte Físico de Vapor), a substituição da grafite convencional pela grafite porosa revestida com TaC da VeTek aborda diretamente os defeitos comuns mostrados no diagrama:

● Elimitando inclusões de carbono: Ao atuar como uma barreira às partículas sólidas, elimina efetivamente as inclusões de carbono e reduz os microtubos comuns nos cadinhos tradicionais.

● Preservando a integridade estrutural: Previne a formação de poços de corrosão e microtúbulos durante o crescimento de cristal único de SiC de ciclo longo.

● Maior rendimento e qualidade: Em comparação com materiais tradicionais, os componentes revestidos com TaC garantem um ambiente de crescimento mais limpo, resultando em qualidade de cristal e rendimento de produção significativamente maiores.