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Transportadora de wafer de grafite revestida de TAC
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Transportadora de wafer de grafite revestida de TAC

A VeTek Semiconductor projetou cuidadosamente o transportador de wafer de grafite revestido com TaC para os clientes. É composto de grafite de alta pureza e revestimento TaC, que é adequado para vários processamentos de wafer epitaxial. Somos especializados em revestimento de SiC e TaC há muitos anos. Comparado com o revestimento SiC, nosso suporte de wafer de grafite revestido com TaC tem maior resistência à temperatura e ao desgaste. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

Você pode ter certeza de comprar portador de wafer de grafite revestido de TAC personalizado da vetek Semiconductor. Estamos ansiosos para cooperar com você, se você quiser saber mais, pode nos consultar agora, responderemos a você a tempo!

VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier interage diretamente com wafers no reator epitaxy, aumentando a eficiência e o desempenho. Com a opção de revestimento de carboneto de silício ou carboneto de tântalo, o transportador de wafer de grafite revestido com TaC da VeTek Semiconductor oferece vida útil prolongada, até 2 a 3 vezes mais longa com carboneto de tântalo. Compatível com vários modelos de máquinas, incluindo fornos epitaxiais LPE SiC, JSG, fornos epitaxiais NASO.

O transportador de grafite revestido com TaC da VeTek Semiconductor garante estequiometria de reação precisa, evita a migração de impurezas e mantém a estabilidade de temperatura além de 2.000°C. Apresenta notável resistência a H2, NH3, SiH4 e Si, protegendo contra ambientes químicos agressivos. Resistindo a choques térmicos, permite ciclos operacionais rápidos sem delaminação do revestimento.

O revestimento TAC semicondutor de vetek garante pureza ultra-alta, elimina impurezas e garante cobertura conforme que encontre tolerâncias dimensionais rigorosas. Com os recursos avançados de processamento de grafite do Vetek Semiconductor, estamos equipados para atender às suas necessidades de personalização. Se você precisa de serviços de revestimento ou soluções abrangentes, nossa equipe de engenheiros especializados está pronta para projetar a solução perfeita para seus aplicativos específicos. Confie em nós para fornecer produtos de alta qualidade adaptados às suas necessidades e expectativas.


Método Pvt Sic Crystal Growth:

PVT method SiC Crystal Growth


Parâmetro do produto do transportador de wafer de grafite revestido com TaC

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade 14,3 (g/cm³)
Emissividade específica 0.3
Coeficiente de expansão térmica 6,3 10-6/K
Dureza (HK) 2.000 Hong Kong
Resistência 1x10-5Ohm*cm
Estabilidade térmica <2500℃
Mudanças no tamanho do grafite -10~-20um
Espessura do revestimento ≥20um valor típico (35um±10um)


Oficina de produção de semicondutores VeTek:

VeTek Semiconductor Production Shop


Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Porta-wafers de grafite revestido com TaC
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