Anel revestido com TAC

O anel revestido com TAC VETEKSEMI é um componente de alto desempenho adaptado para processos de fabricação de semicondutores. Seu revestimento de carboneto de tântalo (TAC) projetado de forma exclusiva fornece ao produto excelente resistência à alta temperatura, resistência à corrosão e estabilidade mecânica, melhorando significativamente a vida útil e a confiabilidade dos componentes de grafite em equipamentos de semicondutores.

Desempenho superior de revestimentos de carboneto Tantalum:

● Resistência à temperatura ultra-alta: Os revestimentos TAC podem facilmente suportar temperaturas extremas de até 2200 ° C e permanecer estáveis ​​em ambientes de choque térmico comuns na fabricação de semicondutores.

● Excelente estabilidade química: o revestimento mostra forte resistência a gases corrosivos comuns, como hidrogênio, amônia, silano e silício, protegendo efetivamente o substrato do ataque químico.

● Excelentes propriedades mecânicas: o revestimento TAC possui alta dureza, alta resistência ao desgaste e boa resistência ao choque térmico e pode operar de forma estável por um longo tempo em condições duras de trabalho.

● Excelente adesão: o revestimento está fortemente ligado ao substrato de grafite, impedindo efetivamente o revestimento de desligar e garantir um desempenho consistente ao longo da vida útil do serviço.

● Alta pureza: o revestimento TAC preparado pela CVD tem pureza extremamente alta, que minimiza a introdução de impurezas e fornece um ambiente de processo limpo para a fabricação de semicondutores.

Vantagens dos anéis revestidos com carboneto de Tantalum:

● Life estendido do equipamento: O revestimento TAC bloqueia efetivamente as reações químicas e a difusão de impureza, prolongando significativamente a vida útil dos componentes de grafite e reduzindo os custos de manutenção.

● Melhorar a eficiência da produção: A resistência à alta temperatura do produto e a resistência à corrosão permitem operar sob condições mais exigentes, diminuindo o ciclo de produção e aumentando a capacidade de produção.

● Qualidade aprimorada do produto: O revestimento TAC de alta pureza ajuda a reduzir a contaminação, garantindo a qualidade e a consistência dos produtos semicondutores.

O vetek semicondutor foi especializado em produtos de revestimento TAC, comoTac Coating Chuck, Placa de rotação de revestimento TAC, TAC Coating Subser, Susceptador de bolacha revestida com TACpor muitos anos. Nossos produtos de anel revestidos com TAC têm as funções de vida útil prolongada, maior eficiência de produção e melhor qualidade do produto. Ao mesmo tempo, o vetek semicondutor está comprometido há muito tempo em fornecer soluções avançadas de tecnologia e produto para a indústria de semicondutores. 

Devido às diferentes propriedades químicas dos materiais de grafite e carboneto de Tantalum, o coeficiente de expansão térmica não corresponde e é fácil ser aquecido em alta temperatura pelo semicondutor de vetek através de um processo específico para promover a formação de tantálum com a seleção de graphiting da matriz e parcialmente caneta. Dessa maneira, o revestimento de carboneto de tântalo é fortemente aninhado na matriz de grafite através do crescimento in situ, o que aumenta significativamente a força de ligação entre o revestimento e a matriz e impede efetivamente o descascamento do revestimento de carboneto de Tantalum. Esperamos sinceramente a esperança de nos tornarmos um parceiro de longo prazo na China.

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