Placa de rotação de revestimento TAC

A placa de rotação de revestimento TAC do VETEK semicondutor tem uma composição de alta pureza, um conteúdo de impureza inferior a 5ppm e uma estrutura densa e uniforme, que é amplamente utilizada em sistemas de EPI de LPE, sistemas de Aixtron, sistemas nuflare, sistemas Tel CVD, sistemas VEECO, sistemas TSI.

● Excelentes propriedades mecânicas:

Ddução do revestimento de até 2300HV, com excelente resistência ao desgaste.

A adesão entre o revestimento e o substrato é forte, e não é fácil cair ou descascar.

O revestimento ainda pode manter uma boa estabilidade estrutural em alta temperatura.

●  Excelente resistência à corrosão:

O material TAC em si tem excelente estabilidade química e resistência à corrosão.

Os revestimentos do vetek semicondutores têm um bom desempenho em uma variedade de ambientes de gás agressivos.

Pode efetivamente proteger os componentes internos do equipamento contra danos à corrosão.

● Alto acabamento superficial:

O vetek semicondutor usa um processo de revestimento preciso para produzir o acabamento desejado.

A baixa rugosidade da superfície ajuda a reduzir o acúmulo e a deposição de partículas.

● A consistência do revestimento é boa:

O vetek semicondutor possui um sistema de controle de qualidade de som para garantir um desempenho consistente entre os lotes.

A espessura do revestimento é distribuída uniformemente e não há defeitos locais óbvios.

● Excelente desempenho prático de aplicação:

O revestimento TAC do Vetek Semiconductor é amplamente utilizado em muitos fabricantes de equipamentos epitaxiais bem conhecidos em casa e no exterior.

Parâmetro físico do produto da placa de rotação revestida com TAC:

Revestimento de carboneto de tântalo em uma seção transversal microscópica