Disco de rotação planetária revestido de carboneto de tântalo

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O disco de rotação planetária revestido de carboneto de tântalo é um acessório desenvolvido para o sistema AIXTRON G10 MOCVD, visando aumentar a eficiência e qualidade na fabricação de semicondutores. Fabricado com materiais de alta qualidade e fabricado com precisão, o disco de rotação planetária revestido com carboneto de tântalo oferece excelente desempenho e confiabilidade paraDeposição de vapor químico orgânico-metal (MOCVD) processos.

O Disco Planetário é construído usando um substrato de grafite revestido comTaC CVD, fornecendo excelente estabilidade térmica, alta pureza e resistência a altas temperaturas.

Personalizável para acomodar diferentes tamanhos de wafers semicondutores, o Disco Planetário é adequado para vários requisitos de produção. Sua construção robusta foi projetada especificamente para suportar as exigentes condições operacionais do sistema MOCVD, garantindo desempenho duradouro e minimizando o tempo de inatividade e os custos de manutenção associados aos transportadores e susceptores de wafer.

Com o Disco Planetário, oSistema MOCVD Aixtron G10pode obter maior eficiência e resultados superiores na fabricação de semicondutores. Sua estabilidade térmica excepcional, compatibilidade com diferentes tamanhos de bolacha e desempenho confiável o tornam uma ferramenta essencial para otimizar a eficiência da produção e alcançar resultados excelentes no desafio do ambiente MOCVD.