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Tantalum carboneto revestido de carboneto
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Tantalum carboneto revestido de carboneto

O vetek semicondutor é um dos principais fabricantes e inovadores de Chuck revestido com carboneto de tantalum na China. Fomos especializados no revestimento TAC por muitos anos. Nossos produtos têm uma alta pureza e resistência a alta temperatura até 2000 ℃. Estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

O vetek semicondutor fornece chuck com revestimento de carboneto de tantalum de alta qualidade, peças de revestimento SiC com preço competitivo. Esse acessório aprimora a eficiência e a qualidade na fabricação de semicondutores, oferecendo excelente desempenho e confiabilidade.

Criado a partir de materiais de alta qualidade e fabricado com precisão, o Chuck possui um substrato de grafite revestido com carboneto de tântalo (TAC) CVD. Este revestimento fornece excelente estabilidade térmica, alta pureza e resistência a altas temperaturas. Ele garante desempenho confiável nas condições exigentes dos processos MOCVD.

O Chuck é personalizável para acomodar diferentes tamanhos de bolacha semicondutores, tornando -a adequada para vários requisitos de produção. Sua construção robusta minimiza os custos de inatividade e manutenção associados a portadores de bolacha e susceptores.

Com o mandril revestido de carboneto de semicondutor de vetek, o sistema MOCVD Aixtron G10 alcança maior eficiência e resultados superiores na fabricação de semicondutores. Sua estabilidade térmica excepcional, compatibilidade com diferentes tamanhos de bolacha e desempenho confiável o tornam uma ferramenta essencial para otimizar a eficiência da produção e alcançar resultados excelentes no ambiente desafiador de MOCVD.


Parâmetro do produto do mandril revestido com carboneto de tantalum

Propriedades físicas do revestimento TAC
Densidade 14.3 (g/cm³)
Emissividade específica 0.3
Coeficiente de expansão térmica 6.3 10-6/K
Dureza (hk) 2000 HK
Resistência 1 × 10-5Ohm*cm
Estabilidade térmica <2500 ℃
Mudanças de tamanho de grafite -10 ~ -20um
Espessura do revestimento ≥20um valor típico (35um ± 10um)


Desempenho de wafer depois de usar nossos componentes:

Wafer performance after using our components


Compare a loja de produção de semicondutores:

VeTek Semiconductor Production Shop


Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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