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Anel revestido de TaC para reator epitaxial de SiC
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Anel revestido de TaC para reator epitaxial de SiC

O VETEK SEMICONDUCOR é um dos principais fabricantes e inovadores tecnológicos do anel revestido de TAC para reator epitaxial do SIC na China, com foco no fornecimento de soluções de alto desempenho para os reatores epitaxiais do SIC. Temos muitos anos de experiência em tecnologia de revestimento TAC. O anel revestido de TAC tem as características de alta pureza, alta estabilidade, excelente resistência à corrosão, etc., e podem fornecer desempenho estável a longo prazo no ambiente de trabalho severo dos reatores epitaxiais. Estamos ansiosos para estabelecer uma parceria estratégica de longo prazo com você.

Introdução ao produto do anel revestido de TAC para reator epitaxial SiC

O Vetek Semiconductor é uma empresa de renome sediada na China, conhecida por sua experiência em fabricar revestimentos TAC e SiC de alta qualidade, bem como o anel revestido de TAC de alta pureza para reator epitaxial do SIC. Orgulhamo -nos de oferecer produtos superiores a preços competitivos. Convidamos calorosamente você a nos alcançar e descobrir as soluções excepcionais que fornecemos.

Nossos anéis revestidos com TAC para reatores epitaxiais do SIC desempenham um papel crucial. Esses anéis são parte integrante do nosso conjunto de meia -lua, oferecendo funções essenciais, como suporte ao substrato, controle preciso da temperatura, isolamento de calor eficaz, ventilação eficiente e proteção confiável. Ao trabalhar harmoniosamente, esses anéis garantem controle meticuloso sobre as características de espessura, dopagem e defeito da camada epitaxial do SiC cultivada dentro da câmara de reação.

Além de nossos excepcionais anéis revestidos com TaC, a VeTek Semiconductor oferece uma ampla gama de produtos relacionados projetados especificamente para câmaras de reação. Nossa linha de produtos inclui meias-luas superiores e inferiores, capas protetoras, capas de isolamento e interfaces de desvio de ar de processo. Cada um desses componentes passa por um meticuloso revestimento de SiC ou TaC para melhorar o desempenho e prolongar sua vida útil.


Parâmetro do produto do anel revestido de TAC para reator epitaxial SiC

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade 14.3 (g/cm³)
Emissividade específica 0.3
Coeficiente de expansão térmica 6,3×10-6/K
Dureza (hk) 2.000 Hong Kong
Resistência 1 × 10-5Ohm*cm
Estabilidade térmica <2500 ℃
Mudanças no tamanho do grafite -10 ~ -20um
Espessura do revestimento ≥20um valor típico (35um ± 10um)


Compare a loja de produção de semicondutores:

VeTek Semiconductor Production Shop


Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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