O que é o revestimento do CVD TAC? - Veteksemi

Como todos sabemos,Tantalum Carbide (TAC)tem um ponto de fusão de até 3880 ° C, alta resistência mecânica, dureza, resistência ao choque térmico; Boa inércia química e estabilidade térmica para amônia, hidrogênio, vapor contendo silício a altas temperaturas.

Revestimento de carboneto de tântalo em uma seção transversal microscópica

Revestimento CVD TAC, deposição de vapor químico (CVD) derevestimento de carboneto de tântalo (tac), é um processo para formar um revestimento durável e de alta densidade em um substrato (geralmente grafite). Este método envolve a deposição de TaC na superfície do substrato em altas temperaturas, resultando em um revestimento com excelente estabilidade térmica e resistência química.

As principais vantagens dos revestimentos CVD TaC incluem:

●  Estabilidade térmica extremamente alta: O revestimento de carboneto de tântalo pode suportar temperaturas superiores a 2.200°C.

●  Resistência química: O revestimento TAC CVD pode resistir efetivamente a produtos químicos agressivos, como hidrogênio, amônia e vapor de silício.

●  Forte adesão: O revestimento TaC garante proteção duradoura sem delaminação.

● Alta pureza: Minimiza as impurezas, tornando -o ideal para aplicações de semicondutores.

Esses revestimentos são particularmente adequados para ambientes que exigem alta durabilidade e resistência a condições extremas, como fabricação de semicondutores e processos industriais de alta temperatura.

Na produção industrial, grafite (Composto de carbono-carbono) materiais revestidos com revestimento de TaC provavelmente substituirão grafite tradicional de alta pureza, revestimento de pBN, peças de revestimento de SiC, etc. Além disso, no campo aeroespacial, o TaC tem grande potencial para ser usado como um anti-oxidação de alta temperatura e revestimento anti-ablação e tem amplas perspectivas de aplicação. No entanto, ainda existem muitos desafios para conseguir a preparação de um revestimento TaC denso, uniforme e sem descamação na superfície do grafite e promover a produção industrial em massa.

Neste processo, explorar o mecanismo de proteção do revestimento, inovar o processo de produção e competir com o topo estrangeiro são cruciais para a terceira geração.crescimento de cristal semicondutor e epitaxia.

O VETEK SEMICONDUCOR é um fabricante profissional chinês de produtos de revestimento de carboneto CVD Tantalum, e nossa pureza de revestimento TAC está abaixo de 5ppm, pode atender aos requisitos do cliente. Os produtos revestidos com CVD TAC, principais veteksemi, incluem Cadinho de revestimento CVD TaC, Transportadora de bolacha de revestimento TAC CVD, Transportadora de revestimento TAC CVD, Assim, Capa de revestimento TAC CVD, Assim,  Anel de revestimento CVD TaC. O vetek semicondutor está comprometido em fornecer soluções avançadas para vários produtos de revestimento para a indústria de semicondutores. O vetek semicondutor espera sinceramente se tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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