Anel de suporte revestido de SiC

Semicondutor VeTek, um fabricante e fornecedor líder com sede na China, é especializado na produção de uma gama de produtos, incluindoAnéis de suporte revestidos com SIC, revestimentos de carboneto de silício CVD, revestimentos de carboneto de tântalo, SiC a granel, pós de SiC e materiais de SiC de alta pureza. Nossa dedicação está em oferecer assistência técnica abrangente e soluções ideais de produtos sob medida para o setor de semicondutores. Sinta-se à vontade para entrar em contato conosco para obter mais informações e assistência.

Semicondutor VeTekéAnéis de suporte revestidos com SICsão uma nova geração de materiais resistentes à alta temperatura. Como revestimentos resistentes à corrosão, revestimentos resistentes a oxidação e revestimentos resistentes ao desgaste, eles podem ser usados ​​em ambientes acima de 1650 ℃ e são amplamente utilizados nos campos semicondutores.

As características de alta qualidade deAnéis de suporte revestidos com SICdesempenham um papel muito importante no crescimento epitaxial dos componentes semicondutores de terceira geração.

Manter a uniformidade da temperatura: Os anéis de suporte revestidos com SiC têm excelente condutividade térmica e podem fornecer distribuição uniforme de temperatura durante o crescimento epitaxial. Isso ajuda a reduzir os gradientes térmicos e as tensões na superfície da wafer, melhorando assim a qualidade da camada epitaxial.

Estabilidade Química Extrema: Durante o processo de crescimento epitaxial,Anéis de suporte revestidos com SICsão capazes de resistir ao ataque químico dos gases de reação, prolongando a vida útil dos anéis de suporte e mantendo a integridade do processo. Esta estabilidade química ajuda a reduzir o risco de contaminação e a melhorar a pureza e o desempenho dos dispositivos semicondutores.

Posicionamento preciso: Os anéis de suporte revestidos com SiC são capazes de manter o posicionamento preciso da bolacha, o que é fundamental para alcançar a deposição uniforme da camada. Esse posicionamento preciso ajuda a garantir a consistência da espessura e qualidade da camada epitaxial.

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Oficina de produção de semicondutores VeTek:

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: