Transportadora de revestimento TAC CVD

O vetek semicondutor é um líder profissional China CVD TAC Coating Transportador, Susceptor de epitaxia,Suporte de grafite revestido com TACfabricante.

Através de pesquisas contínuas sobre processos e inovação de materiais, o transportador de revestimento TAC CVD TAC do Vetek Semiconductor desempenha um papel muito crítico no processo epitaxial, incluindo principalmente os seguintes aspectos:

Proteção ao substrato: O transportador de revestimento TAC CVD fornece excelente estabilidade química e estabilidade térmica, impedindo efetivamente a alta temperatura e os gases corrosivos de erodir o substrato e a parede interna do reator, garantindo a pureza e a estabilidade do ambiente de processo.

Uniformidade térmica: Combinado com a alta condutividade térmica do transportador de revestimento TAC CVD, garante a uniformidade da distribuição da temperatura dentro do reator, otimiza a qualidade do cristal e a uniformidade da espessura da camada epitaxial e aprimora a consistência do desempenho do produto final.

Controle de contaminação por partículas: Como os portadores revestidos com TAC CVD têm taxas de geração de partículas extremamente baixas, as propriedades da superfície lisa reduzem significativamente o risco de contaminação por partículas, melhorando assim a pureza e o rendimento durante o crescimento epitaxial.

Vida útil prolongada: Combinado com a excelente resistência ao desgaste e resistência à corrosão do portador de revestimento TAC CVD, estende significativamente a vida útil dos componentes da câmara de reação, reduz os custos de inatividade e manutenção do equipamento e melhora a eficiência da produção.

Combinando as características acima, o transportador de revestimento TAC CVD TAC do Vetek Semiconductor não apenas melhora a confiabilidade do processo e a qualidade do produto no processo de crescimento epitaxial, mas também fornece uma solução econômica para a fabricação de semicondutores.

Revestimento de carboneto de tantalum em uma seção transversal microscópica:

Propriedades físicas do transportador de revestimento TAC CVD:

VETEK SEMICONDUCOR CVD SIC COATING SHOP: