Revestimento TAC CVD

O revestimento CVD TaC (revestimento químico de carboneto de tântalo por deposição de vapor) é um produto de revestimento composto principalmente de carboneto de tântalo (TaC). O revestimento TaC possui dureza extremamente alta, resistência ao desgaste e resistência a altas temperaturas, tornando-o uma escolha ideal para proteger os principais componentes do equipamento e melhorar a confiabilidade do processo. É um material indispensável no processamento de semicondutores.

Os produtos de revestimento TAC CVD geralmente são usados ​​em câmaras de reação, portadores de wafer e equipamentos de gravação e desempenham os seguintes papéis -chave neles.

O revestimento TAC CVD é frequentemente usado para componentes internos de câmaras de reação, como substratos, painéis de parede e elementos de aquecimento. Combinado com sua excelente resistência a alta temperatura, ele pode resistir efetivamente à erosão de alta temperatura, gases corrosivos e plasma, prolongando efetivamente a vida útil do equipamento e garantindo a estabilidade do processo e a pureza da produção de produtos.

Além disso, os portadores de bolacha revestidos com TAC (como barcos de quartzo, acessórios etc.) também têm excelente resistência ao calor e resistência à corrosão química. O transportador de wafer pode fornecer suporte confiável para a bolacha a altas temperaturas, impedir a contaminação e deformação da wafer e, assim, melhorar o rendimento geral do chip.

Além disso, o revestimento TAC do Vetek Semiconductor também é amplamente utilizado em vários equipamentos de gravação e deposição de filmes finos, como gravadores de plasma, sistemas de deposição de vapor químicos, etc. Nesses sistemas de processamento, o revestimento de TAC CVD pode suportar bombardeio de íons de alta energia e fortes reações químicas químicas , garantindo assim a precisão e a repetibilidade do processo.

Quaisquer que sejam seus requisitos específicos, corresponderemos à melhor solução para as suas necessidades de revestimento de CVD TAC e aguardaremos sua consulta a qualquer momento.

Lojas de produtos de revestimento VeTek Semiconductor CVD TAC:

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: