TAC Coating Subser

Susceptador revestido com TAC semicondutor de vetek eTAC revestidoanelTrabalhe juntos no reator de crescimento epitaxial de carboneto de silício LPE:

● Resistência de alta temperatura: ORevestimento TACSuscepts tem excelente resistência de alta temperatura, capaz de suportar as temperaturas extremas de até 1500 ° C noReator de LPE. Isso garante que o equipamento e os componentes não se deformem ou sejam danificados durante a operação de longo prazo.

● Estabilidade química: O Susceptador de revestimento TAC tem um desempenho excepcionalmente bem no ambiente de crescimento de carboneto de silício corrosivo, protegendo efetivamente os componentes do reator do ataque químico corrosivo, estendendo assim sua vida útil.

● Estabilidade térmica: O susceptador de revestimento TAC tem boa estabilidade térmica, mantendo a morfologia da superfície e a rugosidade para garantir a uniformidade do campo de temperatura no reator, o que é benéfico para o crescimento de alta qualidade das camadas epitaxiais de carboneto de silício.

● Anti-contaminação: A superfície revestida com TAC suave e o desempenho superior de TPD (dessorção programada por temperatura) podem minimizar o acúmulo e a adsorção de partículas e impurezas dentro do reator, impedindo a contaminação das camadas epitaxiais.

Em resumo, o susceptador e o anel revestidos com TAC desempenham um papel de proteção crítica no reator de crescimento epitaxial de carboneto de silício LPE, garantindo a operação estável a longo prazo do equipamento e o crescimento de alta qualidade das camadas epitaxiais.