Anel de revestimento TAC

O anel de revestimento TAC do VETEK SEMICONDUCTOR é criado a partir de grafite de alta qualidade e revestido com carboneto de tântalo (TAC), um material conhecido por suas propriedades superiores, é um componente indispensável no processamento de bolacha semicondutores.

Os principais recursos e benefícios do anel de revestimento TAC semicondutor vetek:

● Alta estabilidade térmica: Uma das características de destaque do anel de revestimento de carboneto de tântalo é sua capacidade de suportar altas temperaturas, um fator crítico na gravação de semicondutores. O processo de gravação de SiC envolve exposição a temperaturas elevadas e gases reativos, e o revestimento de carboneto de tântalo garante que o anel permaneça estável e retenha sua integridade estrutural mesmo sob essas condições adversas. Esta resiliência térmica garante que o componente continue a funcionar de forma ideal durante longos períodos.

●  Resistência mecânica aprimorada: A combinação de grafite de alta resistência e revestimento TaC resulta em um componente com propriedades mecânicas aprimoradas, tornando o anel revestido com TaC altamente resistente ao desgaste. Sua resistência mecânica é crucial para manter os wafers de SiC firmemente no lugar, garantindo uma gravação precisa e evitando qualquer deformação durante o processo.

●  Resistência à corrosão química: Em processos de semicondutores, como a gravação de SiC, os componentes são frequentemente expostos a produtos químicos agressivos e gases reativos. O revestimento de Carboneto de Tântalo proporciona excelente proteção contra corrosão, prolongando significativamente a vida útil do anel e minimizando a necessidade de substituições frequentes. Esta resistência é especialmente importante no processo de ataque químico, onde os componentes estão em constante contato com substâncias quimicamente reativas.

●  Revestimento CoatiTaC superior para melhor desempenho: O revestimento de carboneto de tântalo no anel de grafite fornece uma superfície robusta que melhora o desempenho geral do componente. O carboneto de tântalo é conhecido por seu alto ponto de fusão (aproximadamente 3.880°C) e sua excelente resistência a reações químicas, especialmente em ambientes agressivos normalmente encontrados durante processos de fabricação de semicondutores. Este revestimento de carboneto de tântalo melhora significativamente a vida útil do produto, proporcionando durabilidade superior em comparação com anéis de grafite não revestidos.

●  Resistência mecânica aprimorada: A combinação de grafite de alta resistência e revestimento TaC resulta em um componente com propriedades mecânicas aprimoradas, tornando o anel revestido com TaC altamente resistente ao desgaste. Sua resistência mecânica é crucial para manter os wafers de SiC firmemente no lugar, garantindo uma gravação precisa e evitando qualquer deformação durante o processo.

Como fornecedor líder de anel de revestimento TAC, fabricante e fábrica na China, o Vetek Semiconductor está comprometido há muito tempo em fornecer produtos avançados de anel de revestimento TAC e soluções técnicas para a indústria de processamento de semicondutores e suporta serviços personalizados de produtos. Veteksemi sinceramente espera se tornar seu parceiro de longo prazo na China.

Propriedades físicas do revestimento TAC

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