Produtos
Parte da meia -lua de 8 polegadas para reator de LPE
  • Parte da meia -lua de 8 polegadas para reator de LPEParte da meia -lua de 8 polegadas para reator de LPE
  • Parte da meia -lua de 8 polegadas para reator de LPEParte da meia -lua de 8 polegadas para reator de LPE

Parte da meia -lua de 8 polegadas para reator de LPE

O vetek semicondutor é um dos principais fabricantes de equipamentos de semicondutores na China, com foco na pesquisa e desenvolvimento e na produção de 8 polegadas de meia -lua para o reator LPE. Acumulamos uma rica experiência ao longo dos anos, especialmente em materiais de revestimento SiC, e estamos comprometidos em fornecer soluções eficientes adaptadas para os reatores epitaxiais de LPE. Nossa parte de meia -lua de 8 polegadas para reator LPE tem excelente desempenho e compatibilidade e é um componente -chave indispensável na fabricação epitaxial. Dê as boas -vindas à sua pergunta para saber mais sobre nossos produtos.


Como fabricante profissional, a VeTek Semiconductor gostaria de fornecer peça meia-lua de 8 polegadas de alta qualidade para reator LPE.

A peça meia-lua VeTek Semiconductor de 8 polegadas para reator LPE é um componente essencial utilizado em processos de fabricação de semicondutores, particularmente em equipamentos epitaxiais de SiC. A VeTek Semiconductor emprega uma tecnologia patenteada para produzir peças em meia-lua de 8 polegadas para reatores LPE, garantindo que possuam pureza excepcional, revestimento uniforme e excelente longevidade. Além disso, essas peças apresentam notáveis ​​propriedades de resistência química e estabilidade térmica.

O corpo principal da peça meia-lua de 8 polegadas para o reator LPE é feito de grafite de alta pureza, que proporciona excelente condutividade térmica e estabilidade mecânica. A grafite de alta pureza é escolhida por seu baixo teor de impurezas, garantindo contaminação mínima durante o processo de crescimento epitaxial. Sua robustez permite suportar as condições exigentes do reator LPE.

As peças de meia -lua com revestimento de grafite semicondutor vetek são fabricadas com a máxima precisão e atenção aos detalhes. A alta pureza dos materiais utilizados garante desempenho superior e confiabilidade na fabricação de semicondutores. O revestimento uniforme nessas partes garante operação consistente e eficiente ao longo de sua vida útil.

Uma das principais vantagens de nossas peças Halfmoon de grafite revestidas com SiC é sua excelente resistência química. Eles podem suportar a natureza corrosiva do ambiente de fabricação de semicondutores, garantindo durabilidade duradoura e minimizando a necessidade de substituições frequentes. Além disso, a sua excepcional estabilidade térmica permite-lhes manter a sua integridade estrutural e funcionalidade sob condições de alta temperatura.

Nossas peças de meia -lua de grafite revestidas com SiC foram meticulosamente projetadas para atender aos requisitos rigorosos do equipamento epitaxial do SIC. Com seu desempenho confiável, essas partes contribuem para o sucesso dos processos de crescimento epitaxial, permitindo a deposição de filmes de alta qualidade.


ESTRUTURA DE CRISTAL DO FILME DE REVESTIMENTO CVD SIC:


CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE



Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade Valor típico
Estrutura Cristalina FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade 3,21 g/cm³
Dureza Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão 2~10μm
Pureza Química 99,99995%
Capacidade de calor 640 J · kg-1· K-1
Temperatura de sublimação 2700°C
Força de flexão 415 MPA RT 4 pontos
Módulo de Young Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade térmica 300W · m-1· K-1
Expansão Térmica (CTE) 4,5 × 10-6K-1


Oficina de produção de semicondutores VeTek:

VeTek Semiconductor Production Shop


Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Parte da meia -lua de 8 polegadas para reator de LPE
Enviar consulta
Informações de contato
Para dúvidas sobre revestimento de carboneto de silício, revestimento de carboneto de tântalo, grafite especial ou lista de preços, deixe seu e-mail para nós e entraremos em contato em até 24 horas.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept