Como escolher bandeja de grafite MOCVD?

Pergunta 1: O que é bandeja de grafite MOCVD e por que é tão importante para o processo epitaxial?

A placa de grafite de deposição de vapor químico-orgânica (MOCVD), também conhecida como bandeja de grafite MOCVD ou susceptador de grafite MOCVD, é um componente de alta pureza usado para corrigir as bolachas de semicondutor durante o crescimento epitaxial. No processo epitaxial, ele atua como um elemento de aquecimento e garante distribuição uniforme da temperatura, que desempenha um papel insubstituível na depósito de filmes finos em aplicações como dispositivos semicondutores avançados, fabricação de LED e células solares.

A bandeja de grafite pode suportar temperaturas extremas (até 1.800 ° C) e ambientes de gás corrosivos, tornando-o um material indispensável para sistemas MOCVD resistentes à corrosão e alta temperatura. Seu desempenho afeta diretamente a consistência do processo e o rendimento da bolacha.

Pergunta 2: Quais propriedades do material devem ser priorizadas ao selecionar bandejas de grafite MOCVD?

A seleção da placa de grafite correta requer avaliar suas propriedades físicas e químicas:

● Alta pureza (mais de 99,999%):

Normalmente, impurezas como metais ou cinzas podem contaminar o processo epitaxial. A escolha de um fornecedor de susceptores de grafite de alta pureza, como o veteksemicon, garante defeitos mínimos na epilayer semicondutores.

●  Excelente estabilidade térmica:

Durante o processamento real, as placas de grafite devem ser capazes de suportar certos choques térmicos e manter a integridade estrutural sob ciclos de temperatura rápidos. A grafite de alta densidade veteksemicon garante a distribuição uniforme de calor, o que é crítico para o crescimento uniforme do filme.

●  Excelente resistência à corrosão:

No ambiente do processo MOCVD, a grafite é geralmente exposta a gases corrosivos (por exemplo, amônia, hidrogênio). As placas de grafite MOCVD resistentes à corrosão de alta temperatura com estrutura de grão fino minimizam a corrosão e estendem a vida útil do serviço.

●  Força mecânica de alto desempenho:

No processo epitaxial, as bandejas de grafite MOCVD devem suportar várias bolachas sem deformação. De acordo com as estatísticas do veteksemicon no processamento real, a resistência à flexão da placa de grafite deve ser ≥50 MPa para impedir a rachadura da bandeja.

Q3: Como o cenário de aplicativo afeta a seleção de bandejas de grafite MOCVD?

Diferentes processos de MOCVD requerem projetos de placas de grafite personalizados:

●  Crescimento epitaxial de LED/fotônica:

As placas de grafite MOCVD ultra-suaves são usadas no processo de epitaxia para reduzir a geração de partículas e garantir camadas sem defeitos.

Por exemplo, as placas de grafite VETEKSEMICON MOCVD (ou placas de grafite veteksemicon para MOCVD) são projetadas para epitaxia de GaN e GAAs e fornecem gerenciamento térmico otimizado.

●  Fabricação de semicondutores de energia:

Combinados com as estatísticas experimentais do semicondutor de semikera, as placas com maior resistência a oxidação são geralmente preferidas para processos de carboneto de silício (SIC) ou nitreto de gálio (GaN).

●  Produção de alto rendimento:

As bandejas de várias linhas requerem processamento preciso para se alinhar com o projeto do reator. Bandejas de grafite MOCVD personalizáveis ​​de fornecedores confiáveis ​​semicondutores semiKera podem corresponder às configurações de ferramentas específicas.

Q4: Quais são as principais considerações para encontrar um fornecedor confiável de placa de grafite MOCVD?

●  Certificação e teste:

Verifique se o fornecedor fornece certificação de material (por exemplo, relatório de pureza, teste de densidade) e fornece tratamento de superfície pós-processamento (por exemplo, revestimento para reduzir a porosidade). Como um dos principais fabricantes de equipamentos de processo de semicondutores chineses e de processos epitaxiais, as placas de grafite VETEKSEMICON MOCVD foram certificadas por departamentos governamentais para experimentos rigorosos de limite, e os resultados dos testes de pureza e densidade de seus produtos estão muito à frente de seus pares.

●  Recursos de personalização:

Os principais fornecedores de susceptores de grafite de alta pureza devem personalizar o tamanho, o padrão de orifícios e o revestimento para atender aos requisitos do seu reator. Tanto o veteksemicon quanto o semicondutor de semikera têm os recursos de serviço de personalização de produtos e tecnologias relacionados e são totalmente capazes de atender às suas várias necessidades personalizadas.

●  Vida por vida e eficiência de custos:

Embora a grafite mais barata possa economizar custos iniciais, as placas de grafite inferiores levarão a substituição frequente e tempo de inatividade, afetando seriamente a eficiência normal da produção. A escolha de placas de grafite veteksemicon e outros produtos de qualidade permitirá que sua empresa obtenha uma produção confiável de longo prazo.

Q5: Como prolongar a vida útil das bandejas de grafite MOCVD?

●  Impedir a oxidação: Use purga de gás inerte durante os ciclos de aquecimento/resfriamento.

●  Limpe regularmente: Use métodos não abrasivos (como gravura a seco) para remover resíduos depositados.

●  Evite estresse mecânico: Manuseie a bandeja com cuidado durante o carregamento/descarregamento da bolacha.

Os melhores conselhos do veteksemicon para você:

Para placas de grafite MOCVD resistentes à corrosão de alta temperatura, priorize os fornecedores com experiência em materiais de grau de semicondutores.

Teste amostras em condições reais do processo para verificar o desempenho.

Explore revestimentos avançados (como revestimento SiC, revestimento TAC) para melhorar a durabilidade e a confiabilidade em ambientes extremos.

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Para obter mais informações sobre a placa de grafite MOCVD de revestimento TAC, clique aqui.