O que é um barco de grafite PECVD?

Ⅰ. Qual é o material do barco de grafite PECVD?

O material central deBarco de grafite PECVD(Barco de grafite de deposição de vapor químico aprimorado no plasma) é feito de alta purezaMaterial de grafite isotrópica(A pureza é geralmente ≥99,999%) e é modificada por processos especiais (como CVD de deposição de vapor químico ou revestimento de superfície). A grafite de alta pureza é amplamente utilizada em sistemas PECVD devido à sua excelente condutividade elétrica e alta condutividade térmica (80 ~ 150 W/m · k). EsseMaterial de grafite de alta purezapode manter uma boa estabilidade estrutural e estabilidade química em ambientes de alta temperatura e resistir à corrosão de gases reativos e plasma.

Ⅱ. Quais são as propriedades físicas do barco de grafite?

As propriedades físicas dos barcos de grafite PECVD incluem:

● Condutividade elétrica: A grafite isostática possui excelente condutividade elétrica, o que permite gerenciar efetivamente a energia elétrica e promover a geração e a manutenção do plasma durante o processo PECVD.

●  Condutividade térmica: A alta condutividade térmica da grafite (cerca de 80 ~ 150 W/m · k) ajuda a manter um ambiente de temperatura estável durante o processo PECVD e a garantir deposição uniforme de filmes finos.

●  Densidade: A densidade da grafite policristalina comercial varia de 1,30 g/cm³ a ​​1,88 g/cm³. Quanto maior a densidade, melhor as propriedades físicas e mecânicas, que podem melhorar a vida útil do serviço.

Ⅲ. Quais são as vantagens do barco de grafite PECVD em comparação com o barco de grafite comum?

Comparados com barcos de grafite comuns, os barcos de grafite PECVD têm as seguintes vantagens:

Ⅳ. Por que escolher o barco de grafite pecvd de veteksemicon?

Como todos sabemos, o VetekSemicon é um fabricante líder e fornecedor de produtos de revestimento semicondutores eProdutos de grafitena China. NossoBarcos de grafite PECVDsão usados ​​principalmente nas indústrias semicondutores e fotovoltaicas, especialmente nos processos PECVD e CVD.

Os barcos de grafite são geralmente usados ​​como transportadores para transportar bolachas de silício ou outros materiais para garantir manuseio e transporte seguro desses materiais em ambientes de alta temperatura e plasma. Por exemplo, no processo de fabricação de semicondutores, os barcos de grafite PECVD da VetEkSemicon são projetados para processos de deposição de vapor químicos aprimorados por plasma. O barco de grafite desempenha o papel de depositar camadas de passivação de nitreto de silício (Sinₓ) e filmes de baixa constante dielétrica (Low-K).

No campo fotovoltaico, os barcos de grafite PECVD são usados ​​para preparar células solares de filme fino à base de silício (como o silício amorfo A-Si: H) e as camadas de passivação traseira de células Perc. O barco de grafite PECVD do VetekSemicon otimiza o processo de revestimento, espaçando as bolachas de silício efetivamente e induzindo descarga de brilho para obter deposição uniforme de revestimento.

Mais importante, o veteksemicon pode fornecer produtos e serviços técnicos personalizados e pode projetar e fabricar produtos de barcos de grafite de diferentes especificações de acordo com os requisitos reais do processo. Escolher veteksemicon significa escolher um líder da indústria com forte força nas indústrias semicondutor e fotovoltaica. Sinceramente, esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo.