Barco de grafite PECVD

O veteksemicon é um fabricante profissional de barcos de grafite por China PECVD.

Qual é o papel da célula solar de vetek semicondutores (revestimento) pecvd grafite?

Como transportador de bolachas normais de silício produzidas pelo processo de revestimento, o barco de grafite tem muitas bolachas de barco com certos intervalos na estrutura, e há um espaço muito estreito entre as duas bolachas de barco adjacentes, e as bolachas de silício são colocadas nos dois lados da porta vazia.

Como a grafite do material do barco de grafite PECVD possui boas propriedades de condutividade elétrica e térmica, a tensão CA é solicitada nos dois barcos adjacentes, de modo que os dois barcos adjacentes formam postes positivos e negativos, quando há uma certa pressão e gás na câmara, a descarga de Glow ocorre entre os dois barcos, a descarga de glóbulos pode se decompor o SIH4. As moléculas SINX são formadas e depositadas na superfície da bolacha de silício para alcançar o objetivo do revestimento.

Os barcos de grafite PECVD geralmente são usados ​​como transportadores para transportar bolachas de silício ou outros materiais para garantir manuseio e transporte seguros desses materiais em ambientes de alta temperatura e plasma. Por exemplo, no processo de fabricação de semicondutores, os barcos de grafite PECVD da VetEkSemicon são projetados para processos de deposição de vapor químicos aprimorados por plasma. O barco de grafite desempenha o papel de depositar camadas de passivação de nitreto de silício (Sinₓ) e filmes de baixa constante dielétrica (Low-K).

No campo fotovoltaico, os barcos de grafite PECVD são usados ​​para preparar células solares de filme fino à base de silício (como o silício amorfo A-Si: H) e as camadas de passivação traseira de células Perc. O barco de grafite PECVD do VetekSemicon otimiza o processo de revestimento, espaçando as bolachas de silício efetivamente e induzindo descarga de brilho para obter deposição uniforme de revestimento.

Mais importante, o veteksemicon pode fornecer produtos e serviços técnicos personalizados e pode projetar e fabricar produtos de barcos de grafite de diferentes especificações de acordo com os requisitos reais do processo. Sinceramente, esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo.

E As vantagens do barco de grafite PECVD em comparação com o barco de grafite comum, basta clicar