Anel de revestimento CVD SiC

Existem muitas peças pequenas nas peças em meia-lua, e o anel de revestimento de SiC é uma delas.Revestimento CVD SiCna superfície do anel de grafite de alta pureza pelo método CVD, podemos obter um anel de revestimento CVD SiC. O anel de revestimento de SiC com revestimento de SiC possui excelentes propriedades, como resistência a altas temperaturas, excelentes propriedades mecânicas, estabilidade química, boa condutividade térmica, bom isolamento elétrico e excelente resistência à oxidação. Anel de revestimento de SiC CVD e revestimento de SiCempresáriotrabalhar juntos.

Anel de revestimento SiC e cooperaçãoempresário

As funções do anel de revestimento CVD SiC:

  ●   Distribuição de fluxo: O desenho geométrico do anel de revestimento de SiC ajuda a formar um campo de fluxo de gás uniforme, de modo que o gás de reação possa cobrir uniformemente a superfície do substrato, garantindo um crescimento epitaxial uniforme.

  ●  Troca de calor e uniformidade de temperatura: O anel de revestimento CVD SiC oferece bom desempenho de troca de calor, mantendo assim a temperatura uniforme do anel de revestimento CVD SiC e do substrato. Isso pode evitar defeitos de cristal causados ​​por flutuações de temperatura.

  ●  Bloqueio de interface: O anel de revestimento CVD SiC pode limitar a difusão de reagentes em certa medida, para que eles reagam em uma área específica, promovendo assim o crescimento de cristais SiC de alta qualidade.

  ●  Função de suporte: O anel de revestimento CVD SiC é combinado com o disco abaixo para formar uma estrutura estável para evitar a deformação em alta temperatura e ambiente de reação e manter a estabilidade geral da câmara de reação.

O vetek semicondutor está sempre comprometido em fornecer aos clientes anéis de revestimento CVD SIC de alta qualidade e ajudar os clientes a concluir soluções a preços mais competitivos. Não importa que tipo de anel de revestimento CVD SiC você precisa, sinta -se à vontade para consultar o vetek semicondutor!

SEM DADOS DA ESTRUTURA DE CRISTAL DO FILME CVD SIC:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC: