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Veeco LED EP
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Veeco LED EP

O VEECO LED Susceptor do VETEK SEMICONDUCTOR foi projetado para o crescimento epitaxial de LEDs vermelhos e amarelos. Os materiais avançados e a tecnologia de revestimento CVD SiC garantem a estabilidade térmica do susceptador, tornando o campo de temperatura uniforme durante o crescimento, reduzindo os defeitos de cristal e melhorando a qualidade e a consistência das bolachas epitaxiais. É compatível com o equipamento de crescimento epitaxial da Veeco e pode ser perfeitamente integrado à linha de produção. O design preciso e o desempenho confiável ajudam a melhorar a eficiência e reduzir os custos. Ansioso por suas perguntas.

O LED é um dispositivo semicondutor de estado sólido que pode converter energia elétrica em luz visível. Ao aplicar uma tensão direta à junção p-n, elétrons e orifícios são recombinados na junção P-N. Quando os elétrons saltam de um alto nível de energia para um baixo nível de energia, a energia é liberada, que é emitida na forma de fótons, gerando luz. Diferentes materiais semicondutores emitem diferentes cores da luz. O LED possui alta eficiência luminosa e pode converter diretamente a maioria da energia elétrica em energia luminosa. Geralmente tem uma vida de serviço longa e é muito ecológica.


Working diagram of VEECO LED EPI Susceptor

O fosfeto de índio de gálio de alumínio (algainp) é o principal material para a fabricação de LEDs vermelhos e amarelos. Ao ajustar a taxa de composição de alumínio (Al), gálio (GA), índio (in) e fósforo (P) no material, a lacuna da banda do material pode ser alterada, alcançando assim a emissão de luz do vermelho para o amarelo. No processo de fabricação, o crescimento epitaxial é uma etapa essencial. A epitaxia de algainp geralmente adotaTecnologia de deposição de vapor químico orgânico de metal (MOCVD). Ao aumentar a camada epitaxial do LED vermelho, as condições de razão e reação das matérias -primas como trimetilaluminum, trimetilgallium, trimetilindium e fosfina são controladas para que o material final possa emitir a luz vermelha.


Mesmo a distribuição e o controle eficaz do calor são críticos no processo de crescimento epitaxial dos LEDs vermelhos e amarelos. O VEECO LED Susceptor do VETEK SEMICONDUTOR possui excelente condutividade térmica, que pode conduzir rápida e uniformemente calor para garantir um desvio mínimo de uniformidade de temperatura em toda a superfície da wafer. Melhore significativamente a taxa de crescimento e a qualidade da epilayer.


Usando grafite SGL e avançadoCvd SiC CoatingTecnologia, o Susceptador de EPI do VEECONDUCTOR do Vetek Semicondutor tem excelente durabilidade. É indistinguível do suscetador original na maior extensão. Ele sempre mantém a estabilidade durante os processos de produção de MOCVD a longo prazo e de alta intensidade. Veeco LED Suscept de veecondutor do Vetek semicondutor demonstra forte resistência à corrosão e deformação. Isso significa que as empresas não precisam substituir frequentemente o susceptador, reduzindo bastante o custo de manutenção e o tempo de inatividade do equipamento de produção.


O vetek semicondutor considera totalmente as necessidades individuais de diferentes clientes no processo de fabricação de LED vermelho e amarelo. O VETEK Semiconductor pode fornecer soluções de Suscept de LED Veeco LED personalizadas para a produção de wafer de tamanhos específicos ou parâmetros de processo especiais.


A equipe técnica profissional do Vetek Semiconductor se comunicará com os clientes em profundidade para adaptar os produtos susceptores mais adequados, de acordo com seus cenários específicos de aplicação, configurações de equipamentos e metas de produção, ajudando as empresas a alcançar avanços tecnológicos e atualizações de produtos.


Dados SEM do filme de revestimento CVD SiC:

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade
Valor típico
Estrutura cristalina
Policristalina da fase β da FCC, principalmente (111) orientada
Densidade de revestimento
3,21 g/cm³
Dureza do revestimento sic 2500 VICKERS DUÊNDA (500G CARRE
Tamanho de grão
2 ~ 10mm
Pureza química
99,99995%
Capacidade de calor do revestimento SiC CVD
640 J · kg-1· K-1
Temperatura da sublimação
2700
Força de flexão
415 MPA RT 4 pontos
Módulo de Young
430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Condutividade térmica
300W · m-1· K-1
Expansão térmica (CTE)
4,5 × 10-6K-1

VETEK SEMICONDUTOR VEECO LED EPI Suscept Products Shops:

SiC Coating Wafer CarrierSemiconductor process equipmentCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

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