Quais materiais são usados ​​em componentes de cerâmica semicondutores?

Cerâmica de Alumina (Al₂o₃) ‌

A cerâmica de alumina é o "cavalo de batalha" para os componentes de cerâmica de fabricação. Eles exibem excelentes propriedades mecânicas, pontos de fusão ultra-altos e dureza, resistência à corrosão, forte estabilidade química, alta resistividade e isolamento elétrico superior. Eles são comumente usados ​​para fabricar placas de polimento, chucks a vácuo, braços de cerâmica e partes semelhantes.

‌ Cerâmica de nitreto de alumínio (ALN)

A cerâmica de nitreto de alumínio apresenta alta condutividade térmica, um coeficiente de expansão térmica que combina com o de silício e baixa constante e perda dielétrica. Com vantagens como alto ponto de fusão, dureza, condutividade térmica e isolamento, eles são usados ​​principalmente em substratos que dissipam o calor, bocais de cerâmica e tampas eletrostáticas.

‌Yttria cerâmica (y₂o₃)

A Cerâmica da YTTRIA possui um ponto de fusão alto, excelente estabilidade química e fotoquímica, baixa energia do fônon, alta condutividade térmica e boa transparência. Na indústria de semicondutores, eles são frequentemente combinados com cerâmica de alumina - por exemplo, os revestimentos YTTRIA são aplicados à cerâmica de alumina para produzir janelas de cerâmica.

‌ Cerâmica de nitreto de Silicon (Si₃n₄) ‌

A cerâmica de nitreto de silício é caracterizada por um ponto de fusão alto, dureza excepcional, estabilidade química, baixo coeficiente de expansão térmica, alta condutividade térmica e forte resistência ao choque térmico. Eles mantêm uma excelente resistência ao impacto e força abaixo de 1200 ° C, tornando-os ideais para substratos de cerâmica, ganchos de carga, pinos de posicionamento e tubos de cerâmica.

‌Silicon Cerâmica de carboneto (sic) ‌

Cerâmica de carboneto de silício, pareçam a diamantes em propriedades, são materiais leves, ultra duros e de alta resistência. Com desempenho abrangente excepcional, resistência ao desgaste e resistência à corrosão, eles são amplamente utilizados em assentos de válvula, rolamentos deslizantes, queimadores, bocais e trocadores de calor.

‌Zirconia Cerâmica (ZRO₂) ‌

A cerâmica de zircônia oferece alta resistência mecânica, resistência ao calor, resistência a ácido/álcalis e excelente isolamento. Com base no conteúdo da zircônia, eles são categorizados em:

• Cerâmica de precisão‌ (conteúdo superior a 99,9%, usado para substratos de circuito integrado e materiais isolantes de alta frequência).
• Cerâmica comum‌ (para produtos de cerâmica de uso geral).

Características estruturais deCerâmica semicondutora Componentes

‌ Cerâmica dense‌

A densa cerâmica é amplamente utilizada na indústria de semicondutores. Eles alcançam densificação minimizando os poros e são preparados por meio de métodos como sinterização da reação, sinterização sem pressionamento, sinterização em fase líquida, prensagem a quente e prensagem isostática quente.

‌ Cerâmica por favorita

Em contraste com a densa cerâmica, a cerâmica porosa contém um volume controlado de vazios. Eles são classificados pelo tamanho dos poros em cerâmica microporosa, mesoporosa e macroporosa. Com baixa densidade a granel, estrutura leve, grande área de superfície específica, propriedades eficazes de filtração/isolamento térmico/propriedades acústicas e desempenho químico/físico estável, eles são usados ​​para fabricar vários componentes em equipamentos semicondutores.