Susceptor de grafite revestido de SiC CVD para transportador de wafer

1. Vantagens do produto

• Material de alta pureza:O material de grafite de grau semicondutor e a estrutura densa de revestimento de SiC minimizam os riscos de contaminação e melhoram a confiabilidade do susceptor de grafite revestido de SiC CVD.
• Excelente uniformidade térmica:A estrutura otimizada de grafite e o revestimento de SiC proporcionam transferência de calor estável e controle uniforme da temperatura do wafer.
• Resistência Química Superior:O denso revestimento de SiC oferece forte resistência contra gases de processo e ambientes corrosivos.
• Longa vida útil:A alta dureza e a resistência ao desgaste melhoram a durabilidade sob condições de epitaxia de alta temperatura.
• Baixa geração de partículas:A densa superfície CVD SiC reduz a liberação de partículas e melhora a confiabilidade do processo de wafer.
• Capacidade de design personalizado:Disponível em diversos tamanhos, estruturas e configurações de acordo com as necessidades do equipamento.

2. Especificações Técnicas

3. Aplicações

• Processo de Epitaxia SiC:O susceptor de grafite é usado como transportador de wafer em equipamentos de epitaxia de SiC, suportando substratos de SiC durante o crescimento epitaxial em alta temperatura.
• Processo de Epitaxia de Silício:Aplicado em reatores epitaxiais de silício para suporte de wafers e manutenção de condições térmicas estáveis.
• Epitaxia MOCVD:Os susceptores de grafite VETEK são adequados para MOCVD, epitaxia de LED, epitaxia de GaN, epitaxia de silício e outros processos de fabricação de semicondutores que exigem excelente uniformidade térmica e estabilidade química.
• Equipamento de fabricação de semicondutores:Compatível com várias plataformas de epitaxia, incluindo fornos horizontais LPE, Aixtron, NuFlare e equipamentos semicondutores relacionados.

4. Por que escolher a VETEK?

A VETEK fornece soluções personalizadas de susceptores de grafite revestidos com SiC CVD, integrando purificação de grafite, usinagem de precisão, revestimento CVD e recursos de inspeção. Nossos produtos susceptores de grafite de grau semicondutor apresentam alta pureza, espessura de revestimento uniforme, excelente desempenho térmico e longa vida útil para aplicações exigentes de transportadores de wafer.