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Susceptor de panqueca revestido de SiC para wafers LPE PE3061S 6''
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Susceptor de panqueca revestido de SiC para wafers LPE PE3061S 6''

O susceptor de panqueca revestido de SiC para wafers LPE PE3061S de 6'' é um dos principais componentes usados ​​no processamento de wafer epitaxial de wafers de 6''. A VeTek Semiconductor é atualmente um fabricante e fornecedor líder de susceptor de panqueca revestido de SiC para wafers LPE PE3061S 6'' na China. O Susceptor de Panqueca Revestido com SiC que ele fornece possui excelentes características, como alta resistência à corrosão, boa condutividade térmica e boa uniformidade. Aguardamos sua consulta.

Como fabricante profissional, o vetek semicondutor gostaria de fornecer susceptador de panqueca com revestimento de alta qualidade para as bolachas de LPE PE3061S 6 ''.

O susceptor de panqueca revestido com SiC VeTeK Semiconductor para wafers LPE PE3061S de 6" é um equipamento crítico usado em processos de fabricação de semicondutores.


Susceptor de panqueca revestido de SiC para wafers LPE PE3061S 6" Características do produto:

Estabilidade em altas temperaturas: O SiC apresenta excelente estabilidade em altas temperaturas, mantendo sua estrutura e desempenho em ambientes de alta temperatura.

Excelente condutividade térmica: o SIC possui uma condutividade térmica excepcional, permitindo transferência de calor rápida e uniforme para aquecimento rápido e até mesmo.

Resistência à corrosão: O SiC possui excelente estabilidade química, resistindo à corrosão e oxidação em diversos ambientes de aquecimento.

Distribuição uniforme de aquecimento: O transportador de wafer revestido com SiC fornece distribuição de aquecimento uniforme, garantindo temperatura uniforme em toda a superfície do wafer durante o aquecimento.

Adequado para produção de semicondutores: O transportador de wafer de epitaxia de Si é amplamente utilizado em processos de fabricação de semicondutores, particularmente para crescimento de epitaxia de Si e outros processos de aquecimento em alta temperatura.


Vantagens do produto:

Eficiência de produção aprimorada: O susceptor de panqueca revestido de SiC permite aquecimento rápido e uniforme, reduzindo o tempo de aquecimento e aumentando a eficiência da produção.

Qualidade do produto garantida: A distribuição uniforme do aquecimento garante consistência durante o processamento do wafer, levando a uma melhor qualidade do produto.

Vida útil prolongada do equipamento: o material SiC oferece excelente resistência ao calor e estabilidade química, contribuindo para uma vida útil mais longa do susceptor de panqueca.

Soluções personalizadas: O susceptor revestido de SiC e o transportador de wafer de epitaxia de Si podem ser adaptados para diferentes tamanhos e especificações com base nas necessidades do cliente.


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Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade Valor típico
Estrutura Cristalina Policristalina da fase β da FCC, principalmente (111) orientada
Densidade 3,21 g/cm³
Dureza 2500 VICKERS DUÊNDA (500G CARRE
Tamanho de grão 2~10μm
Pureza Química 99,99995%
Capacidade de calor 640 J · kg-1· K-1
Temperatura da sublimação 2700°C
Força de flexão 415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Condutividade Térmica 300W · m-1· K-1
Expansão Térmica (CTE) 4,5 × 10-6K-1


Revendedor semicondutor

VeTek Semiconductor Production Shop


Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Susceptor de panqueca revestido de SiC para wafers LPE PE3061S 6''
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