Susceptador de barril de grafite revestido com SIC para EPI

✔ Contaminação Reduzida: A natureza inerte da SIC impede que as impurezas aderem à superfície do suscetador, reduzindo o risco de contaminação dos filmes depositados.

✔ Aumento da resistência à erosão: O SiC é significativamente mais resistente à erosão do que a grafite convencional, levando a uma vida útil mais longa para o susceptador.

✔ Estabilidade térmica melhorada: O SIC possui excelente condutividade térmica e pode suportar altas temperaturas sem distorção significativa.

✔ Qualidade aprimorada do filme: A estabilidade térmica aprimorada e a contaminação reduzida resultam em filmes depositados de maior qualidade com melhor uniformidade e controle de espessura.

✔ LEDs baseados em GaN

✔ Eletrônica de potência

✔ Dispositivos optoeletrônicos

✔ Transistores de alta frequência

✔ Sensores

Parâmetro do produto do susceptador de barril de grafite revestido com SiC

        Nota: Antes do revestimento, faremos a primeira purificação, após o revestimento, faremos a segunda purificação.

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC