Placa superior revestida com SIC para LPE PE2061S

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional de placa superior revestida de SiC na China para LPE PE2061S.

A placa superior revestida de semicondutores SiC vetek para PE2061s LPE em equipamento epitaxial de silício, usado em conjunto com um susceptador de corpo do tipo barril para apoiar e manter as bolachas epitaxiais (ou substratos) durante o processo de crescimento epitaxial.

A placa superior revestida de SiC para LPE PE2061S é normalmente feita de material de grafite estável em altas temperaturas. A VeTek Semiconductor considera cuidadosamente fatores como o coeficiente de expansão térmica ao selecionar o material de grafite mais adequado, garantindo uma ligação forte com o revestimento de carboneto de silício.

A placa superior revestida de SiC para LPE PE2061S apresenta excelente estabilidade térmica e resistência química para suportar ambientes corrosivos e de alta temperatura durante o crescimento da epitaxia. Isso garante estabilidade, confiabilidade e proteção a longo prazo dos wafers.

No equipamento epitaxial de silício, a função principal de todo o reator CVD revestido com SiC é suportar os wafers e fornecer uma superfície de substrato uniforme para o crescimento das camadas epitaxiais. Além disso, permite ajustes na posição e orientação dos wafers, facilitando o controle da temperatura e da dinâmica dos fluidos durante o processo de crescimento para alcançar as condições de crescimento desejadas e as características da camada epitaxial.

Os produtos da vetek semicondutores oferecem alta espessura de revestimento de alta precisão e uniforme. A incorporação de uma camada de buffer também estende a vida útil do produto. No equipamento epitaxial de silício, usado em conjunto com um suscet de corporal do tipo barril para apoiar e manter as bolachas epitaxiais (ou substratos) durante o processo de crescimento epitaxial.

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Revendedor semicondutor

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: