O que é o revestimento TAC de carboneto de Tantalum? - veteksemicon

O que é carboneto de Tantalum (TAC)?

O material cerâmico de carboneto de Tantalum (TAC) tem um ponto de fusão de até 3880 ℃ e é um composto com alto ponto de fusão e boa estabilidade química. Pode manter o desempenho estável em ambientes de alta temperatura. Além disso, também possui alta resistência à temperatura, resistência à corrosão química e boa compatibilidade química e mecânica com materiais de carbono, tornando -o um material de revestimento de proteção contra substrato de grafite ideal. 

Tantalum Carboking Coatingpode efetivamente proteger os componentes de grafite dos efeitos da amônia quente, hidrogênio, vapor de silício e metal fundido em ambientes de uso severos, prolongando significativamente a vida útil do serviço dos componentes de grafite e suprimindo a migração de impurezas na grafite, garantindo a qualidade deepitaxialecrescimento de cristais.

Figura 1. Componentes revestidos de carboneto de tântalo comum

Preparação do revestimento TAC pelo processo CVD

A deposição de vapor químico (DCV) é o método mais maduro e ideal para produzir revestimentos TAC em superfícies de grafite.

Usando TACL5 e propileno como fontes de carbono e tântalo, respectivamente, e o argônio como gás transportador, o vapor TACL5 vaporizado de alta temperatura é introduzido na câmara de reação. Na temperatura e pressão alvo, o material de precursor adsorve na superfície da grafite, passando por uma série de reações químicas complexas, como decomposição e combinação de fontes de carbono e tântalo, bem como uma série de reações de superfície como difusão e dessorção de subprodutos do precursor. Finalmente, uma densa camada de proteção é formada na superfície da grafite, que protege a grafite da existência estável sob condições ambientais extremas e expande significativamente os cenários de aplicação de materiais de grafite.

Figura 2.Princípio do processo de deposição de vapor químico (CVD)

Para obter mais informações sobre os princípios e o processo de preparação do revestimento TAC CVD, consulte o artigo:Como preparar o revestimento do CVD TAC?

Por que escolher veteksemicon?

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Figura 3.Veterinárioprodutos de revestimento de carboneto de tântalo mais populares do EK semicondutor