TAC Coating Crucible

Opera o semicondutorCVD TAC revestido de cadinhosGeralmente desempenha os seguintes papéis -chave no método PVT SiC SiC Crystal Growth Process:

O método PVT refere -se à colocação de um cristal de semente SiC em cima do cadinho revestido de TAC e colocando o pó SiC como matéria -prima na parte inferior do cadinho. Em um ambiente fechado de alta temperatura e baixa pressão, o SiC pó sublimata e, sob a ação do gradiente de temperatura e diferença de concentração, oSic póé transferido para a vizinhança do cristal de sementes e atinge um estado supersaturado após a recristalização. Portanto, o método PVT pode alcançar um crescimento controlável do tamanho do cristal SiC e da forma de cristal específica.

● Estabilidade térmica do crescimento de cristais

Os cadrubles revestidos com semicondutores de vetek têm excelente estabilidade térmica (pode permanecer estável abaixo de 2200 ℃), o que ajuda a manter sua integridade estrutural, mesmo nas temperaturas extremamente altas necessárias para o crescimento de cristais únicos. Essa propriedade física permite que a grafite revestida de SiC cruzol controla com precisão o processo de crescimento do cristal, resultando em cristais altamente uniformes e sem defeitos.

● Excelente barreira química

Os cadinhos revestidos com TAC combinam um revestimento de carboneto de tântalo com uma grafite de alta pureza cadinho para proporcionar uma excelente resistência a uma ampla gama de produtos químicos corrosivos e materiais fundidos comumente encontrados durante o crescimento de cristal único SiC. Essa propriedade é fundamental para alcançar cristais de alta qualidade com defeitos mínimos.

● Vibrações de amortecimento para um ambiente de crescimento estável

As excelentes propriedades de amortecimento das vibrações cadinhas revestidas com TAC minimizam as vibrações e o choque térmico dentro do cadinho de grafite, contribuindo ainda mais para um ambiente de crescimento de cristais estável e controlado. Ao mitigar essas fontes potenciais de interferência, o revestimento TAC permite o crescimento de cristais maiores e mais uniformes com densidade reduzida de defeitos, aumentando o aumento do rendimento do dispositivo e melhorando o desempenho do dispositivo.

● Excelente condutividade térmica

Os cadinhos revestidos com veteksemicon têm excelente condutividade térmica, o que ajuda a grafite cadinho a transferir calor de maneira rápida e uniforme. Isso determina o controle preciso da temperatura ao longo do processo de crescimento do cristal, minimizando defeitos cristalinos causados ​​por gradientes térmicos.

Revestimento de carboneto de tântalo (TAC) em uma seção transversal microscópica

Propriedades físicas deTantalum Carboking Coating

Oficinas de produção de semicondutores vetek