Transportador de barco wafer SiC de alta pureza

O transportador de barcos wafer SiC de alta pureza VeTekSemi é um importante componente de rolamento usado em fornos de recozimento, fornos de difusão e outros equipamentos no processo de fabricação de semicondutores. O porta-barcos wafer SiC de alta pureza é geralmente feito de material de carboneto de silício de alta pureza e inclui principalmente as seguintes peças:

• Corpo de apoio ao barco: estrutura semelhante a um suporte, especialmente utilizada para transportarbolachas de silícioou outros materiais semicondutores.

• Estrutura de suporte: Seu design de estrutura de suporte permite suportar cargas pesadas em altas temperaturas e não se deforma ou danifica durante o tratamento em alta temperatura.

material de carboneto de silício

Propriedades físicas deCarboneto de Silício Recristalizado：

Se os requisitos do processo de produção forem maiores,Cvd SiC Coatingpode ser realizado no transportador de barcos wafer SiC de alta pureza para fazer com que a pureza alcance mais de 99,99995%, melhorando ainda mais sua resistência a altas temperaturas.

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Durante o tratamento em alta temperatura, o suporte para barcos de wafer SiC de alta pureza permite que o wafer de silício seja aquecido uniformemente para evitar superaquecimento local. Além disso, a resistência a altas temperaturas do material de carboneto de silício permite manter a estabilidade estrutural em temperaturas de 1200°C ou até mais.

Durante o processo de difusão ou recozimento, a pá cantilever e o transportador de barcos wafer SiC de alta pureza trabalham juntos. Oremo cantileverEmpurra lentamente o transportador de barcos de alta pureza da SiC, carregando a bolacha de silício para a câmara do forno e a impede em uma posição designada para o processamento. 

O suporte para barcos wafer SiC de alta pureza mantém contato com o wafer de silício e é fixado em uma posição específica durante o processo de tratamento térmico, enquanto a pá cantilever ajuda a manter toda a estrutura na posição correta, garantindo uniformidade de temperatura.

O portador de barcos de alta pureza da SiC e a pás do cantilever trabalham juntos para garantir a precisão e a estabilidade do processo de alta temperatura.

O vetek semicondutor fornece a você portador de barco de alta pureza de alta pureza de alta pureza, de acordo com suas necessidades. Ansioso por sua pergunta.

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