Wafer epitaxial do MOCVD fornece

Susceptador de bolacha epitaxial do MOCVD é um susceptador de wafer epitaxial de alto desempenho projetado para equipamento de MOCVD (deposição de vapor químico orgânico metal-orgânico). O suscetador é feito de material de grafite SGL e revestido com revestimento de carboneto de silício, que combina a alta condutividade térmica da grafite com a excelente resistência à alta temperatura e corrosão do SIC e é adequada para o ambiente de trabalho severo de alta temperatura, alta pressão e gás corrosivo durante o crescimento epitaxial dos semicondutores.

O material de grafite SGL possui excelente condutividade térmica, o que garante que a temperatura da bolacha epitaxial seja distribuída uniformemente durante o processo de crescimento e melhora a qualidade da camada epitaxial. O revestimento SiC revestido permite que o susceptador suporta altas temperaturas superiores a 1600 ℃ e se adapte ao ambiente térmico extremo no processo de MOCVD. Além disso, o revestimento SiC pode resistir efetivamente a gases de reação de alta temperatura e corrosão química, prolongar a vida útil do Susceptor e reduzir a poluição.

O susceptador de wafer epitaxial MOCVD da Veteksemi pode ser usado como substituto para acessórios de fornecedores de equipamentos MOCVD, como a Aixtron.

● Tamanho: Pode ser personalizado de acordo com as necessidades do cliente (tamanho padrão disponível).

● Capacidade de transporte: Pode transportar múltiplas ou mais de 50 bolachas epitaxiais de cada vez (dependendo do tamanho do susceptador).

● Tratamento de superfície: Revestimento SiC, resistência à corrosão, resistência a oxidação.

● Indústria de semicondutores: Usado para o crescimento de bolachas epitaxiais, como LEDs, diodos a laser e semicondutores de potência.

● Indústria de optoeletrônica: Suporta o crescimento epitaxial de dispositivos optoeletrônicos de alta qualidade.

● Pesquisa e desenvolvimento de materiais de ponta: Aplicado à preparação epitaxial de novos semicondutores e materiais optoeletrônicos.

Dependendo do tipo de equipamento MOCVD do cliente e das necessidades de produção, o VetEk Semiconductor fornece serviços personalizados, incluindo tamanho do susceptador, material, tratamento de superfície etc., para garantir que a solução mais adequada seja fornecida aos clientes.

Estrutura cristalina de filme sic cvd

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC

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