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A estrutura porosa da grafite
A grafite porosa é um produto poroso de estrutura feito de grafite como material base. Seu material é feito de grafite de alta pureza. Os parâmetros físicos da grafite porosa de semicondutores vetek variam de acordo com o processo de produção e a aplicação específica. A seguir, são seguintes parâmetros físicos comuns:
Propriedades físicas típicas degrafite porosa
ltem
Parâmetro
Densidade a granel
0,89 g/cm2
Força de compressão
8.27 MPA
Força de flexão
8.27 MPA
Resistência à tracção
1,72 MPA
Resistência específica
130Ω-inX10-5
Porosidade
50%
Tamanho médio de poro
70UM
Condutividade térmica
12w/m*k
A grafite porosa é feita de grafite de alta pureza e possui excelente condutividade elétrica, condutividade térmica, resistência à alta temperatura, resistência a oxidação, estabilidade química e outras características. É amplamente utilizado na indústria de processamento de semicondutores.
No processo de processamento de semicondutores, a grafite porosa é amplamente usada nos seguintes aspectos:
Combinado com a excelente resistência à alta temperatura da grafite porosa e estabilidade química, como boa resistência à corrosão à maioria dos produtos químicos, como ácidos, alcalses e solventes, a grafite porosa é frequentemente usada em equipamentos de sinterização e tratamento térmico de alta temperatura. Por exemplo, a grafite porosa pode ser usada como revestimento, material de isolamento ou material de suporte para fornos de alta temperatura.
Além disso, o componente de grafite poroso possui excelente condutividade elétrica e estabilidade térmica para fornecer um campo térmico uniforme e propriedades elétricas estáveis. Portanto, este produto é frequentemente usado noprocesso de difusão ou oxidaçãodo processamento semicondutor como fonte de difusão ou material de eletrodo.
A estrutura porosa da grafite porosa pode filtrar e purificar os gases usados no processamento de semicondutores, reduzir a possível contaminação por partículas e garantir alta limpeza durante o processamento. Com sua estrutura porosa e boa permeabilidade ao ar, as peças de grafite porosa também podem ser usadas como base e acessório em um sistema de adsorção de vácuo para corrigir as bolachas ou outros componentes por meio de adsorção eficiente de vácuo.
Ajustando o processo de sinterização da grafite, o vetek semicondutor podePersonalize materiais de grafite porosa com diferentes tamanhos de poros e porosidades para atender aos diferentes requisitos de aplicação.
Grafite porosa Grafite porosa de crescimento de cristal sic Crisol de grafite de três petais
De fato, o vetek semicondutor tem uma posição de liderança de mercado absoluta no mercado de susceptores de grafite revestido com SIC, no mercado de grafite de grafite revestida de TAC e no mercado de bandejas de grafite revestidas com carboneto de silício. O vetek semicondutor é um fabricante profissional chinês, fornecedor, fábrica de produtos de grafite especiais, comoGrafite porosa de crescimento de cristal sic, Revestimento de carbono pirolítico, Revestimento de carbono vítreo, Grafite isotrópica, Grafite siliconizadoeFolha de grafite de alta pureza. Estamos comprometidos em fornecer soluções avançadas para vários produtos de grafite especiais para a indústria de semicondutores.
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