Tacing guia de revestimento anéis

Função dos anéis guia de revestimento TAC:

Controle preciso de fluxo de gás: OAnel de guia de revestimento TACestá estrategicamente posicionado dentro do sistema de injeção de gás doReator MOCVD. Sua função principal é direcionar o fluxo de gases precursores e garantir sua distribuição uniforme na superfície da wafer de substrato. Esse controle preciso sobre a dinâmica do fluxo de gás é essencial para alcançar o crescimento uniforme da camada epitaxial e as propriedades desejadas do material.

Gerenciamento térmico: Os anéis do guia de revestimento TAC geralmente opera a temperaturas elevadas devido à sua proximidade com o suscettor e o substrato aquecidos. A excelente condutividade térmica do TAC ajuda a dissipar o calor de maneira eficaz, impedindo o superaquecimento localizado e mantendo um perfil de temperatura estável dentro da zona de reação.

Vantagens do TAC em MOCVD:

Resistência à temperatura extrema: O TAC possui um dos pontos de fusão mais altos entre todos os materiais, excedendo 3800 ° C.

Ineridade química excepcional: O TAC exibe resistência excepcional à corrosão e ataque químico dos gases precursores reativos utilizados no MOCVD, como amônia, silano e vários compostos metal-orgânicos.

Propriedades físicas deRevestimento TAC:

Benefícios para o desempenho do MOCVD:

O uso do anel de guia de revestimento TAC semicondutores vetek em equipamentos MOCVD contribui significativamente para:

Aumento do tempo de atividade do equipamento: A durabilidade e a vida útil prolongada do anel da guia de revestimento TAC reduzem a necessidade de substituições frequentes, minimizando o tempo de inatividade de manutenção e maximizando a eficiência operacional do sistema MOCVD.

Estabilidade de processo aprimorada: A estabilidade térmica e a inércia química do TAC contribuem para um ambiente de reação mais estável e controlado na câmara do MOCVD, minimizando variações do processo e melhorando a reprodutibilidade.

Uniformidade da camada epitaxial aprimorada:Crescimento da camada epitaxialcom espessura e composição consistentes.

Revestimento de carboneto de tântalo (tac)em uma seção transversal microscópica: